中古 TEL / TOKYO ELECTRON 19S #9227224 を販売中
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TEL/TOKYO ELECTRON 19Sは、半導体ウェーハの研究・加工を行うための製造準備ツールです。これは、最大19シグマ(測定精度)の速度で、片面から4面までの幅広いウェーハ構成に対応できる自動ウェーハプローバです。このproberは自動整列、正確な測定および容易な操作を提供します。これは、単一のソリューションで精度と生産性の理想的な組み合わせを提供するように設計されています。TEL 19S proberは、優れた位置決め、精度、スループット速度を実現するように設計されています。プローバは、複数のウェーハサイズの高解像度、精度、再現性のためのインデックス作成機能を備えています。X-Yテーブルは、真空チャックとウェーハ搬送装置で構成され、高精度かつダイに損傷を与えることなく、迅速にウェーハを移動させます。トルク制御システムとロボットアームアセンブリは、スループットと精度を向上させる優れたモーションコントロールを提供します。プローバはクアッド軸の設計により、4面ウェーハスタックを1つのセットアップで処理することができ、従来の処理システムと比較して迅速かつ効率的なスループットを実現します。TOKYO ELECTRON 19 S proberには、ウェーハ測定を選択するための直感的なタッチスクリーンと、測定結果をキャプチャして表示する機能もあります。また、ウェーハIDコードを自動的に読み取り、ウェーハや所望の位置をすばやく識別するために使用できるバーコードリーダーも内蔵しています。また、プローバには強力なソフトウェアスイートが装備されており、すべての測定パラメータを完全に制御することができ、高精度のプロセスモニタリングと自動ウェーハアライメントを提供します。TOKYO ELECTRON 19S proberは、半導体製造や研究における応用に最適な製品です。これは、大量および研究のセットアップの両方に適しており、ストリームライン化された効率的なプロセスを可能にします。TEL 19 Sは、ユーザーフレンドリーな制御システム、調整可能なパラメータ、幅広いウエハサイズにより、最適な精度とスループット速度を保証します。
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