中古 SPEA 4020 #9218788 を販売中

SPEA 4020は、非常に困難なアプリケーションで基板を正確かつ堅牢にプロービングできるように設計された最先端の静止型プローバです。プローバは柔軟なモジュラーボディを備えており、高スループット、マルチサイトまたはウェハレベルのプロービングに合わせて調整できます。4020は非常に堅牢な構造を持っています。ベースプレートは光学的に平らな花崗岩の表面を備えており、最適なイメージングと環境の安定性を実現しています。基板の操作に使用される精密スライドのコレクションは、トポロジと傾きの大きなバリエーションを持つ基板の非常に広い範囲のために設計されています。スライドのサブミクロン精度は、優れたウェーハアライメント安定性と再現性を保証します。プローバーは、速度、精度、および環境許容を念頭に置いて設計された一連のタッチレスポンスモータによって駆動されます。モータ範囲は最大0。07 ㎜/sの速度を提供し、単軸ステッピングモータは最大170ミクロンの精度を提供します。モータ駆動のモジュラー設計により、複数の駆動モードが可能になり、さまざまな基板操作タスクに適応することができます。プローバーは、すべての軸を独立して同時に制御することができます高度なオートメーションシステムを持っています、だけでなく、各軸に異なるモータータイプの割り当て。グラフィカルユーザーインターフェイスを使用して手動でプログラムすることも、RS-232、 Ethernet、 Ethernet/Modbusなどの外部プログラミングインターフェイスに接続することもできます。このインターフェイスは簡単なセットアップとエラーの回復を可能にし、複雑で正確なプローバーアプリケーションに最適です。SPEA 4020は、アプリケーションの柔軟性のためのカスタマイズ可能な電子モジュールの幅広い選択が装備されています。そのモジュラーインターフェースアーキテクチャは、複数の異なるタイプのプロバーエレクトロニクスをサポートしており、異なる機能を同じプロバープラットフォームに統合することができます。また、さまざまな顕微鏡タイプ、イメージング、および電気パラメータの測定にも対応できます。SEMI規格、E-Beam、 Z-Tilt、 Wafer Gap、 Wafer Shifting、 XY-Tiltなど、幅広い試験および測定技術を使用するために4020が構築されています。Pulser、 MCD、 UAS、 Frame、 AOI、 Pick&Placeなど、さまざまなロボットシステムと互換性があります。SPEA 4020は極度の信頼性および耐久性のために設計されています。すべてのコンポーネント、モーター、エレクトロニクスは、さまざまな環境条件下で最適な性能のための広範なテストを受けています。プローバは継続的な使用のために構築されており、最大スループットで24時間365日稼動できます。最後に、Proberはさまざまなタイプのアダプタと完全に互換性があり、さまざまな基板サイズに対応するためにシステムをアップスケールまたはダウンさせることが容易になります。結論として、4020は、複雑で要求の厳しいアプリケーションで優れた結果を提供するように設計された強力で信頼性の高いプローバです。