中古 SIGNATONE S-460 #293621435 を販売中

製造業者
SIGNATONE
モデル
S-460
ID: 293621435
Analytical wafer prober, parts system Probe station stage Base assembly MITUTOYO Eyepieces MITUTOYO Brightness controller Does not include lenses or micro positioners and power supply.
SIGNATONE S-460は、半導体デバイスのウェーハプロービング用に設計されたプローバです。S-460には2本のプロービングニードルが装備されており、ウェーハに2つの電気接続が可能であり、針の温度とチャンバーの環境温度を制御する独立した温度コントローラも備えています。これにより、ユーザーは広範囲にわたって温度を選択することができ、異なる物理パラメータの測定が容易になります。プローバーにはX-Y-Zガントリー構造があり、測定ヘッドがウェーハ上を移動するので、任意のポイントで接触することができます。SIGNATONE S-460は、リニアベアリング、クロスローラーベアリング、ハーモニックドライブ、および内部独立したACサーボモータを組み合わせることにより、15mm × 15mmの測定範囲で最小限の誤差で測定することができます。プローバは毎秒最大60mmの速度に達することができるため、測定の効率が向上します。S-460は高力検出システムを備えており、重機プローブカードに適しています。このシステムは、ニードルプローブとフォースモニターに統合されたロードセルで構成されています。ロードセルは針の動きによって生成される力の大きさを測定し、フォースモニターはこの力の詳細を追跡して表示します。これにより、ユーザーはウェーハ上の各接点を最小限のエラーで監視することができます。SIGNATONE S-460はまた、ウェーハのアライメントのためのスキャン機能を提供しています。ユーザーがプログラムされた形状または位置合わせマークをスキャンできるようにすることで、位置合わせマークをマッピングすることでプロービングプロセスをより効率的かつ正確にすることができます。S-460は、測定エラーの自動補償やプローブへの熱効果の補償など、高度な制御機能を提供するソフトウェアと統合されています。このソフトウェアはグラフィカルユーザーインターフェイスも提供しているため、ユーザーはプローバの目的の設定を素早く簡単に選択できます。結論として、SIGNATONE S-460は、2つのニードルプローブ、高いフォースセンシングシステム、スキャン機能など、半導体測定に幅広い機能を提供する高性能プローバです。高度な制御ソフトウェアは、ウェーハの物理パラメータを迅速かつ正確に測定するためのツールをユーザーに提供します。
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