中古品 SENSARRAY (プローバー) を販売中
SENSARRAYは、高品質で信頼性の高い半導体ウェーハ特性評価システムを専門とする評判の良いメーカーです。半導体業界では、プロセス最適化、歩留まり改善、品質管理の分野で広く使用されています。SENSARRAYのアナログの利点の1つは、ウェーハ表面の温度と熱流束の分布を測定する際の優れた精度と精度です。高度なセンサ技術と高度なデータ収集システムにより、これらのアナログは、プロセスのバリエーションとウェーハ性能への影響を特定するのに役立つリアルタイムデータを提供します。例えば、SENSARRAYモデル1501A-8-0608は、一般的なウェハ温度監視システムです。エピタキシャル増殖、拡散、アニーリングなど、さまざまな工程でシリコンウェーハの温度分布を正確に測定するように設計されています。1501A-8-0608の高い空間分解能と高速応答時間により、正確な温度測定が可能になり、エンジニアはプロセスパラメータを最適化し、製造上の欠陥を低減できます。SENSARRAYの類似体のもう一つの例は、SPC-2システムです。このHFM (Heat Flux Microscopy)ツールは、シリコンウェーハの詳細な熱束測定を提供し、エンジニアはホットスポットを特定し、さまざまなウェーハ処理ステップで放熱を最適化することができます。全体として、SENSARRAYのアナログは比類のない性能、信頼性、精度を提供し、歩留まりの向上、プロセスの最適化、製品品質の向上を目指す半導体メーカーにとって貴重なツールとなっています。
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