中古 SEMISHARE SX12 #9259731 を販売中
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ID: 9259731
ウェーハサイズ: 12"
Automatic DC probe station, 12"
Sealed micro chamber
EMI / Light / Noise
Chuck, 12" with central vacuum hole
Vacuum rings for sample holding
Super low noise tri-axial chuck
Output tri-axial adapter
Chuck flatness: 5µm
Chuck quick roll out mechanism for fast wafer exchange
Probe card and probe card holder are adaptable to platen
Platen can load up to (12) micro-positioners
EMI Shielding: > 30 dB (Typical) at 1 kHz to 1 MHz
Light attenuation: 130 dB
Spectral noise floor: ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
System AC noise: ≥ 5 mVp-p (≤ 1 GHz)
Optimized microchamber for less CDA consumption
Chuck XYZ-Theta
4 Axes
High precison motorized stage
Controlling system
Travel range: 350 x 500 x 20 mm
X, Y, Z Direction motion resolution: Minimum 0.1 microns
Repeatability: ± 1µm
Accuracy: ± 2µm
Chuck angle rotation range: ± 10°
Theta resolution: 0.0001°
Theta repeatability: 0.0005°
Theta accuracy: 0.001°
Maximum speed:
X/Y Axis: 70 mm/s
Z Axis: 20 mm/s
Chuck driver mechanism:
Zero backlash design
Grinded ball screw and linear guide rail
Chuck stage axes:
Linear scale resolution: 0.1 µm
Microscope XYZ motorized stage and controlling system
Microscope XYZ travel: 2" x 2" x 5"
Maximum speed: > 10 mm/s
Computer connection port:
RS232/485
TCP/IP
GPIB
Motors: Low noise DC motor
Anti-vibration table
SEMISHARE 3 Zoom
High resolution long working distance microscope
Three-speed zoom microscope 15:1
Display low magnification: 0.6x
Display high magnification: 2.5x / 9x
Microscope focus block:
Z Travel: 50.8 mm
Resolution: 1µm
(2) CCD Adapters inside
C Mount adapter
High power white light source: 150 W
Objective: 5x
WD: 34.0 mm
NA: 0.14
Visual magnification: 120-1,800x
(2) Industrial HD (2 Million pixels) CCD
SONY CMOS 2/3"
Resolution: 1920 x 1200
Frame: 30 fps
GigE Interface
(2) SEMISHARE SS-100 Micropositioners
Magnet base with switch
Linear XYZ travels: 12 mm
Linear motion
Probing Inclination: 0-30°
Accuracy: 0.7 microns
(2) AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 74CJ-APT-KS Kelvin coaxial probe holders
One probe tip
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 73CT-APTA
Replaceable coaxial probe
Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um
MEDO VP 125
Silent oil-free vacuum pump 7 l/min
Air compressor
Noise level: 52dB.
SEMISHARE SX12は半導体試験で使用される高度なプローバです。これは、集積回路やトランジスタなどのアクティブコンポーネントまたはデバイスの接点をプローブするために使用される特殊なツールです。これは、精度と再現性の極端なレベルでターゲットに到達することができるプロービングソリューションを提供しています。SX12プローバーには、精密で高速なシリコンベースのテストヘッドが含まれています。これは、接点を正確に見つけて測定できる自己完結型ウェーハプローバ構造に統合されています。テストヘッドは0。5ミクロン(1。27 x 10-5インチ)の非常に高い精度を提供します。これにより、非常に小さな部品をテストすることができ、SEMISHARE SX12の広範なデバイス試験機能に貢献します。洗練されたテストヘッドと共に、SX12はまた正確な塵のないウェーハの土台のプラットホームを特色にします。このセキュアコンタクトは、サンプルをあらゆる微小汚染から保護する手段を提供します。ウエハーは、ハイエンドの空気圧式クランプシステムを使用して設置されています。SEMISHARE SX12 proberは高度なオートメーション機能も提供しています。プログラム可能なパス生成システムが含まれており、一連のT-way、 X-Y、深度スキャンを組み合わせることができます。プローブは、サンプルターゲットにアクセスし、0。05ミクロンの高さから正確に情報を測定できます。また、自動化された利得制御および安定性キャリブレーション機能も備えており、自動テスト機能をさらに拡張します。SX12は市場で利用できる他のどのプロダクトでも見つけられない正確さの標準に達することができる革新的なproberです。テストヘッドの高精度と包括的なオートメーション機能により、半導体メーカーはアクティブ部品またはデバイスの非常に正確な接点を測定するツールを提供します。SEMISHARE SX12 proberは、集積回路、トランジスタ、またはその他の半導体で動作するかどうかにかかわらず、他のツールにはない精度に達することができます。
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