中古 SEMISHARE SX12 #9259731 を販売中

製造業者
SEMISHARE
モデル
SX12
ID: 9259731
ウェーハサイズ: 12"
Automatic DC probe station, 12" Sealed micro chamber EMI / Light / Noise Chuck, 12" with central vacuum hole Vacuum rings for sample holding Super low noise tri-axial chuck Output tri-axial adapter Chuck flatness: 5µm Chuck quick roll out mechanism for fast wafer exchange Probe card and probe card holder are adaptable to platen Platen can load up to (12) micro-positioners EMI Shielding: > 30 dB (Typical) at 1 kHz to 1 MHz Light attenuation: 130 dB Spectral noise floor: ≤ -180 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz) System AC noise: ≥ 5 mVp-p (≤ 1 GHz) Optimized microchamber for less CDA consumption Chuck XYZ-Theta 4 Axes High precison motorized stage Controlling system Travel range: 350 x 500 x 20 mm X, Y, Z Direction motion resolution: Minimum 0.1 microns Repeatability: ± 1µm Accuracy: ± 2µm Chuck angle rotation range: ± 10° Theta resolution: 0.0001° Theta repeatability: 0.0005° Theta accuracy: 0.001° Maximum speed: X/Y Axis: 70 mm/s Z Axis: 20 mm/s Chuck driver mechanism: Zero backlash design Grinded ball screw and linear guide rail Chuck stage axes: Linear scale resolution: 0.1 µm Microscope XYZ motorized stage and controlling system Microscope XYZ travel: 2" x 2" x 5" Maximum speed: > 10 mm/s Computer connection port: RS232/485 TCP/IP GPIB Motors: Low noise DC motor Anti-vibration table SEMISHARE 3 Zoom High resolution long working distance microscope Three-speed zoom microscope 15:1 Display low magnification: 0.6x Display high magnification: 2.5x / 9x Microscope focus block: Z Travel: 50.8 mm Resolution: 1µm (2) CCD Adapters inside C Mount adapter High power white light source: 150 W Objective: 5x WD: 34.0 mm NA: 0.14 Visual magnification: 120-1,800x (2) Industrial HD (2 Million pixels) CCD SONY CMOS 2/3" Resolution: 1920 x 1200 Frame: 30 fps GigE Interface (2) SEMISHARE SS-100 Micropositioners Magnet base with switch Linear XYZ travels: 12 mm Linear motion Probing Inclination: 0-30° Accuracy: 0.7 microns (2) AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 74CJ-APT-KS Kelvin coaxial probe holders One probe tip Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um AMERICAN PROBE & TECHNOLOGIES 73CT-APTA Replaceable coaxial probe Tip radius: 0.5/1.5/5/10/12.5/15/20 um MEDO VP 125 Silent oil-free vacuum pump 7 l/min Air compressor Noise level: 52dB.
SEMISHARE SX12は半導体試験で使用される高度なプローバです。これは、集積回路やトランジスタなどのアクティブコンポーネントまたはデバイスの接点をプローブするために使用される特殊なツールです。これは、精度と再現性の極端なレベルでターゲットに到達することができるプロービングソリューションを提供しています。SX12プローバーには、精密で高速なシリコンベースのテストヘッドが含まれています。これは、接点を正確に見つけて測定できる自己完結型ウェーハプローバ構造に統合されています。テストヘッドは0。5ミクロン(1。27 x 10-5インチ)の非常に高い精度を提供します。これにより、非常に小さな部品をテストすることができ、SEMISHARE SX12の広範なデバイス試験機能に貢献します。洗練されたテストヘッドと共に、SX12はまた正確な塵のないウェーハの土台のプラットホームを特色にします。このセキュアコンタクトは、サンプルをあらゆる微小汚染から保護する手段を提供します。ウエハーは、ハイエンドの空気圧式クランプシステムを使用して設置されています。SEMISHARE SX12 proberは高度なオートメーション機能も提供しています。プログラム可能なパス生成システムが含まれており、一連のT-way、 X-Y、深度スキャンを組み合わせることができます。プローブは、サンプルターゲットにアクセスし、0。05ミクロンの高さから正確に情報を測定できます。また、自動化された利得制御および安定性キャリブレーション機能も備えており、自動テスト機能をさらに拡張します。SX12は市場で利用できる他のどのプロダクトでも見つけられない正確さの標準に達することができる革新的なproberです。テストヘッドの高精度と包括的なオートメーション機能により、半導体メーカーはアクティブ部品またはデバイスの非常に正確な接点を測定するツールを提供します。SEMISHARE SX12 proberは、集積回路、トランジスタ、またはその他の半導体で動作するかどうかにかかわらず、他のツールにはない精度に達することができます。
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