中古 SEMICS Opus3 #9223053 を販売中
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販売された
ID: 9223053
ウェーハサイズ: 8"-12"
ヴィンテージ: 2015
Wafer prober, 8"-12"
Linear stage system
Foot print with flat top
Cassette map with camera
GUI Based on windows
Wafer change & index time
Soft contact for low "K" device
VNC Support
Probe mark inspection
Main body: Ambient and hot (Up to 150°C)
System interface: GPIB
Stage:
FOUP: 12"
Chuck: 12" (Hot chuck)
OCR Unit: SEMICS OCR
Auto card changer: 480 mm
Card holder: 350 mm (Steel holder)
Needle clean unit: 200 mm X 100 mm Ceramic plate (Load 30Kg)
Alignment camera: Macro camera
Loader:
Arm: Arm 1,2
Rotation unit: 360° Turn table
Elevator unit: Stroke AC servo motor, 330 mm
Wafer recognition unit: Camera
Fixed tray: Tray 1, 2
Inspection tray: Tray 1
Computer:
CPU: Pentium 4 4.2 GHz
HDD: 80 GB
Memory: 2 GB
Monitor: 15" (Touch monitor)
Operating system: Windows XP
Basic function:
PMI
PTPA
PTMA
PTPO
Needle polish
OCR
X,Y Stage:
Overall accuracy: ±1.5 μm
Probing area X,Y: ≤165 μm
Maximum speed: 300 mm/sec
Index time: 160 msec/10mm
Resolution: 0.035 μm
Z Stage:
Control accuracy: ±1 μm
Resolution: 0.18 μm
Full stroke: 30 mm
Speed: 50 mm/sec
θ Axis:
Rotation range: ±6°
Accuracy: ±0.0002°
Resolution: 0.0025μm
Wafer handling:
Thickness: 180 μm to 2000 μm
Die size: 350 μm to 100000 μm
Chuck:
Planarity: 15 μm
Temperature range: Ambient to +150°C
Temperature accuracy: 100°C : 0.5°C
Computer:
CPU: 15 Dual core 2400 3.0GHz
Storage memory:
HDD: 500 GB
RAM: 3 GB
Utility:
Air pressure: Above 0.5 Mpa, 100 Liter/Min
Vacuum pressure: -70 Kpa ~ -100 Kpa, 20 Liter/Min
Air vacuum external diameter tube: Ø6 mm, 1 Line
Power: 200 ~ 240 VAC, 25 A, 1 Phase, (3 Wire), 50/60 Hz
2015 vintage.
SEMICS Opus3は、DC、ロジック、パワーデバイスなどのさまざまなデバイスパッケージのテストとプロービングをサポートするために開発された汎用性の高いProberです。マルチリリースヘッド構成により、最大4つの側面または最大3つのレイヤーを同時にプロービングできます。また、高精度のヘッドアライメントにより、最適なパフォーマンスを保証します。オープンフレームアーキテクチャで作られたこのプローバは、小さな領域またはフットプリント内の幅広いプロセスを効果的にサポートすることもできます。また、熱膨張補償機能を搭載しているため、高温での試験時にも高い安定性が得られます。SEMICS OPUS 3には、マルチハンドラ、マルチハンドラ-GT、マルチハンドラ-FL、マルチハンドラ-GPLなど、さまざまなテストハンドラが付属しています。このプローバに含まれるその他の機能は、空気圧制御の真空クランプ、独自の画像処理対応のビジョンアライメント、および高精度の衝突なしのZマニピュレータです。さらに、Opus3は、ソース方向認識機能を備えた接触ポインティング技術を使用したICチップからのオリエンテーション情報を取得することもできます。テストおよび調査の規則的な機能から離れて、このproberにまた装置プログラミングおよびテストを促進するためのさまざまなソフトウェアが装備されています。Optic InstruX （OIX）、 Probing&Testing Optimization （TPTO）、 Network Support Tool （NST）、 Prober Level Remote Interface Tool （PLRIT）、 ESTなどがあります。さらに、プローブ、チャックアダプタ、ビジョンモジュール、インターポーザなどの一連のアクセサリも、より良い制御と操作のために利用できます。これらのすべての機能を備えたOPUS 3は、さまざまなデバイスパッケージを効率的かつ効果的にテストするための理想的なソリューションであることが証明されています。プロービング、テストからプログラミングまで、すべての操作を最大限の精度と速度で実行できます。
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