中古 SEMICS Opus3 #155756 を販売中
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販売された
ID: 155756
ウェーハサイズ: 6", 8", 12"
Wafer prober, 6", 8", and 12"
Basic specifications:
Wafer size: 6", 8", and 12" wafers
Accuracy: ± 1.5µm
Card changer: 350 to 480mm
Temperature range: -55 to 200°C (with ambient control)
Chuck force: 300kg
Index time: 200msec (5 x 5x x 0.5mm)
Auto cassette loader available in 3 configurations:
Flat top loader
Top loader
Dual FOUP loader
Features:
Smart Probe card Alignment (SPA) Mechanism
Intelligent Overdrive Control
6", 8" & 12" Wafers without Mechanical Changeover
Superior Tri-Temp. Control (Cold/ Ambient/ Hot)
Flat Top for Large Test Head
Easy On-Site Calibration
Fast Index/ Less Vibration
Fastest & Simplest Auto Card Changer
Fast Linear Motor Control for XY Stage
Z-Down Control at the Time of Power-Down
200x100 Needle Cleaner
CCD Camera Cassette Mapping for Thin Wafers
High-Performance OCR
SECS GEM Compliance.
SEMICS Opus3はSEMICS Incorporatedが開発したプローバー装置です。ファブ環境における半導体デバイスの製造に使用されるように設計されています。このシステムは、レーザー干渉計、計測システム、フォースセンサなどのさまざまな測定機器と、データ収集や高度なデータ分析に使用できる高度なソフトウェアを組み合わせています。SEMICS OPUS 3 proberユニットは、多目的かつ高度な機械で、ダイアロードテスト、マップパーツ解析、キネマティクスおよび動的解析、光学顕微鏡(OM)試験および測定、プローブカード性能試験など、幅広い用途に適しています。また、パラメトリックテストや故障解析などのウェハレベルテストにも使用されます。Opus3プローバーツールには、ユーザーがウェーハの正確なデータ記録を取ることができるビームモニターアセットが装備されています。また、プローバーとウェーハの距離を測定するレーザー干渉計も搭載しています。さらに、完全に自動化されたアライメントとフォーカス装置が含まれているため、ユーザーはプロバーシステムのアライメントとフォーカスを迅速かつ正確に調整できます。OPUS 3には、ユーザーがプローバーとウェーハの接触力を測定できるフォースセンサーも含まれています。さらに、ウエハテスト中にデータを収集するために使用できる画像処理とデータ取得機能を備えた統合計測機を搭載しています。SEMICS Opus3 proberの制御ツールは非常に直感的で使いやすいです。ユーザーは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスを介してコマンドを発行することにより、proberとその機能を制御することができます。また、独自のテストプログラムをカスタマイズし、ユーザーの特定の要件に応じてパラメータを制御する機能もあります。さらに、制御アセットを使用すると、ウェーハテスト環境の変化に応じてプログラムを変更することができ、テスト中に正確で信頼性の高いデータが収集されるようになります。結論として、SEMICS OPUS 3 proberモデルは、幅広い用途に適した真に汎用性の高い先進的な機器です。さまざまな測定機器と高度なソフトウェアを組み込んでおり、ウェーハテスト中にデータを効果的かつ効率的に収集し、データ分析を行うことができます。
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