中古 QMC DPS 600 #9379306 を販売中
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QMC DPS 600 （Dynamic Publications Semiconductor）は、半導体デバイス製造に使用されるプローバです。集積回路（IC）上の部品の正確で反復可能な計測値を提供するように設計されています。DPS 600は、エッチングパターン、酸化物厚さ、抵抗などの特徴を測定するために、4チップスキャンヘッドとリニア検出システムの両方を使用しています。Vt、ドレンソース抵抗、ゲート、トランジスタ、ダイオード、コンデンサなどのオンウェーハ回路特性の測定も可能です。プローバーは高速モーションシステムを使用して、試験点間を素早く移動し、正確さを損なうことなく測定を行います。ウェーハ内の最小の機能でも検出できる高解像度CCDカメラを搭載しています。このツールには、プローブされる前に手動でウェーハを配置できる高精度の手動ウェーハアライナーも装備されています。このアライナー機能は、± 3ミクロンの再現性を備えています。プローバーには、複数の深さのプロービングなどのユニークな機能があり、複数の層で同時に測定することができ、トランジスタやその他の温度に敏感なデバイスをプロービングする際に便利な高温プロービングをサポートします。このツールには、proberの操作を簡素化するタッチスクリーンユーザーインターフェイスも付属しています。QMC DPS 600は、その精度と再現性を最大化するために、さまざまなテストポイントをプログラムすることができます。片面プローブと両面プローブの両方に対応しており、直径200mmまでのウェーハに対応できます。このツールはまた、IEEE 1394、 USB、およびRS232などのさまざまな接続オプションを備えており、サードパーティ製システムへのデータ転送を可能にします。DPS 600は、優れた精度と再現性を提供する高度なプローバです。その特徴は、精密かつ再現可能な計測値を必要とする半導体デバイスメーカーにとって理想的なソリューションです。このツールはまた、操作を簡素化し、オペレータが使いやすくするユーザーフレンドリーな設計を備えています。
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