中古 QMC DPS 600 #9248785 を販売中
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QMC DPS 600は、ウェーハテストとバーンインテストアプリケーションの両方で使用するように設計された自動プローバです。それは非常に効率的な操作および速いサイクル時間の中型から大きい生産のスループットのためにとりわけ設計されています。この装置は、単一またはデュアルプローバ構成で提供され、どちらも最大基板サイズは300mmです。DPS 600独自の高度な基板処理システムは、モーター、リフト、ベルト、ゲート、スキャナーの負荷/アンロードによる高度な物理オートメーションを使用して、基板をプローバ内/外部に簡単かつ効率的に転送することができます。基板は、大きな真空力でプロバーチャックに供給され、基板が適切に固定されていることを保証します。チャック自体は非常に低い熱膨張を持つように設計されており、温度センサーのリードを正確に配置するか、基板によって生成される熱を正確に測定することができます。QMC DPS 600は、複数のスキャンヘッドを備えており、テストデバイス、センサーリード、さらには追加のプロービングシステムの位置決めを可能にします。また、オンウェーハ測定用の専用電源も備えており、測定前に関連する信号を増幅してフィルタリングすることができます。プローバーには、基板の高さ、X-Y位置、Z軸スキャンの調整のための高精度な動きとスループレーン動作を提供する堅牢な電子モーション機械も装備されています。このツールは、極めて精度の高いさまざまなタスクを実行するために構築されており、バンプなどの非常に小さな機能を備えたフラット、カーブ、大型ウェハなどの幅広い基板を受け入れることができます。高速電気測定を含む高度な測定は、アセットの非常に適応性の高いボードセットとソフトウェア機能の印象的な範囲のために可能です。DPS 600はCE認証を取得しており、世界中での使用に適しています。また、安全に機器を操作し、高精度を維持するように設計された包括的なモデル安全および運用手順が付属しています。このシステムは、診断ツールとデバッグツールの豊富なリストでサポートされているため、発生する可能性のある問題を簡単に特定および診断できます。全体として、QMC DPS 600は、ほとんどの中規模および大規模ウェーハテストおよびバーンインテストアプリケーションに非常に適した強力なツールです。
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