中古 MICROMANIPULATOR PROBE STATION #293634835 を販売中

ID: 293634835
Probe station.
マイクロマニピュレータプローブステーションは、半導体デバイスの包括的な電気特性評価に使用される自動プローバ装置です。マニュアルプロービングの利便性と自動化されたテストの精度を兼ね備えています。自動化されたPROBE STATIONは5 µm、 Z軸の翻訳段階、XYの翻訳段階および回転式段階よりよい位置の正確さの精密マイクロメーターを、提供します6自由度の動き制御を含んでいます。その特殊なソフトウェアとハードウェアシステムにより、高速なウェーハ交換とアライメントが可能になり、精密な電気測定が可能になります。MICROMANIPULATOR PROBE STATIONシステムは、プロービング、特性評価、およびテストに大きな柔軟性を提供します。それは3つの主要な部品、proberおよび2つの準備区域から成っています(電気および熱調節のために)。proberはテストの下のウェーハにテスト部屋asdの調査を整列させ、接続するのに使用されています。電気調製エリアには電気試験を行うために必要な部品が含まれていますが、熱コンディショニングエリアは300°Cまでの高温範囲に対応するように設計されています。プローバーステーションには、エレクトロメータ、電流測定、キャパシタンスメータなど、さまざまな追加機能を装備できます。これらの機能は、精密な電圧および電流測定を必要とする複雑な試験や、半導体デバイスの故障解析に使用されます。これらの基本コンポーネントに加えて、proberステーションにはさまざまなアクセサリーとアップグレードを装備することができます。電子顕微鏡、自動ウェハマッピングユニット、自動ハンドラー、インテリジェント光学システムなどがあります。自動化されたハンドラーはウェーハ交換とアライメントに役立ち、電子顕微鏡は試験中のウェーハの観察を可能にします。インテリジェント光学機械は、デバイスへのプローブ先端の精密アライメントに使用されます。PROBE STATIONは、集積回路の電気特性評価のための信頼性の高い自動プラットフォームを形成し、幅広い測定、詳細な検査および分析を可能にします。その特徴と部品の柔軟性は、幅広い半導体アプリケーションで正確で包括的で反復可能な結果を得るのに非常に有利です。
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