中古 MICROMANIPULATOR 6600 #9272821 を販売中
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ID: 9272821
Probe station
With isolation table
Includes:
(6) Collet shaft assemblies
O-rings
(2) MICROMANIPULATOR 450
(2) MICROMANIPULATOR 550
(35) Picoprobe tips:
12C-4-10
12C-1-22
12C-4-22
18B-4-20
18B-4-10
18B-4-20
(5) 12C and 18B picoprobes probe gain
Gomco vacuum for probe station
Air compressor for isolation table
Hot chuck
KINETIC Systems isolation table
With granite slab
(4) Picoprobe controllers
Objectives: 2.25x, 8x, 25x, 50x, 10x Eyepieces.
MICROMANIPULATOR 6600は、高度な半導体プロセス解析用に設計された先進的なプローバです。高精度で高性能なプラットフォームで、組み込みのセンサーを使用して半導体プロセスからのデータを収集し、分析することができます。6600はテストの下でプロセス環境および基質の両方の温度を測定し、制御することができます。3チャンネルの温度制御を備え、-50〜+190°Cの温度に対応しています。オンボードオートキャリブレーションは、時間の経過とともに再現可能な解析を意味します。また、0。05°C ±の低いドリフトレートを備えており、高精度な温度制御を保証します。MICROMANIPULATOR 6600は、温度制御に加えて、プロセス制御と分析を最適化するために設計された幅広い機能を備えています。例えば、オートシンク機能とオートフォーカス機能により、測定中の基板の特徴とプロバーチップを正確にアライメントできます。自動ゼロ化、自動オフセット、および自動粗いアライメントにより、機器の寿命にわたって精度が維持されます。6600はまた、データ収集を自動化するために複数のプローブヘッドを同期することができる高度なスキャン制御システムを備えています。単位は最高の機能のための標準的なスキャン率そして速いスキャン率のために形成することができます。さらに、セクタースキャンとスキップスキャンを使用して、収集されたデータの総量を削減することができます。MICROMANIPULATOR 6600の他の機能には、非接触トリップ監視、精密リフト制御、2チャネル電子ビームバイアス制御、クラッシュ検出、重要なプロセスフローデータおよび過熱保護用のアラームマシンがあります。このツールは、さまざまなデータフォーマットと互換性があり、ユーザーにさまざまな方法で結果を分析する機能を提供します。6600は、半導体プロセス分析のための強力なツールです。高度な制御機能、高精度センサアレイ、および幅広い機能により、ユーザーは最適なプロセス制御のためにデータを詳細にキャプチャおよび分析することができます。
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