中古 MICROMANIPULATOR 6200 #163139 を販売中
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ID: 163139
ウェーハサイズ: 6"
Wafer probe station, 6"
Includes B&L Micro Zoom (7) optics (20-140X), 6" chuck, 6x6" travel, manual movement
Accepts 10 or more magnetic or vacuum based manipulators
1 in. (25.4 mm) thick honeycomb construction for maximum stability
Fine Lift Control
True planar vertical motion, convenient knob control
Resolution: 0.3 micron per degree revolution
Range: 0.5 in. (12.7 mm)
Fast Lift Control
Raises platen and microscope with adjustable microscope lift delay
Range: 1.35 in. (34.3 mm)
Three locking up positions
Resolution: 18:1 reduction (handle:platen)
XY STAGE
Stage Movement
Range of motion 6 in. x 6 in. (152 mm x 152 mm)
Movement and vacuum stage planarity permanently set
at factory
Theta rotation control full 360° with conveniently located
locking knob
Control knobs coaxial X-Y for single hand operation from
either side, located center front
Vacuum Stage
Standard 5 in. (127 mm) diameter with dual tweezer
slots
Gold plated brass for low contact resistance
Flatness t.0005 in. (t 12 microns)
Electrical isolation exceeds 5000 megohms at 500VDC
OPTIONAL SOCKET STAGE
Conversion time vacuum to socket and back to vacuum
stage less than 60 seconds
Accepts P.C. cards with ZIF sockets for probing packaged devices while operating
Locking handle for theta rotation control
MICROSCOPE AND POST
Vertical positioning +1.4 in. ( support)
Vertical motion 0 -1.35 in. (34.3 mm) by platen fast lift
handle or fine control knob with adjustable delay
X-Y translation: 1 in. x 1 in. (25.4 mm x 25.4 mm) with
convenient knob control
Factory planarized X-Y translation
Coarse/fine focus control
Microscope
B&L MicroZoom with 2:1 zoom in body
3 long working distance objectives (2.25X, 8X, 25X)
Quadruple nosepiece accepts optional 50X objective
Trinocular head with camera port, 10X eyepieces
Coaxial illuminator with system mounted transformer and
infinite rheostat control.
MICROMANIPULATOR 6200は、さまざまなプロービングおよび測定用途に非常に高い精度と柔軟性を提供するマイクロポジショニングおよびポインティングデバイスです。このデバイスは、最大の柔軟性のために任意の角度で取り付けることができる2組の交差GPM-25マイクロメートルを備えています。マニュアルポジショナーは、リニア軸と角軸の両方で10mmの移動範囲を持ち、0.1µm分解能と15µmの再現性を備えています。さまざまなウェーハプロービング、ハンドリング、検査アプリケーションに最適です。6200は、使用環境にかかわらず、正確な試験結果を確保するための安定した基盤を提供します。さらにエラーを最小限に抑えるために、マイクロポジショナーは空気圧ダンピングを組み込み、スムーズで応答のない動きを提供します。調整可能な速度制御とジョイスティックハンドルにより、オペレータは直線軸と角軸の両方の動きを正確に制御できます。micropositionerはまた、さまざまなセンシングおよび制御機能を提供します。迅速な角度位置決めのための連続的な角度測定、および表面接触力の高精度な安定化のためのフィードバック制御が可能です。さらに、位置検出器は手動調整を必要とせずに応答し、自動測定時に一貫した力を維持します。MICROMANIPULATOR 6200は、ウェハテストや検査にも使用できる汎用性の高いツールです。マイクロポジショナーの滑らかに回転可能なノズルははんだペーストおよび接着剤の小さい低下の制御された沈殿に使用することができ適用に従って複数のWSI特定のチャック台紙の気体および液体媒体源は指定することができます。さらに、このツールはDirect-Viewing Microscopeとデジタルイメージング機能を使用して構成することで、サンプル表面の非接触的な表示と質的分析を可能にします。全体的に6200は、ウェーハプロービングおよび試験アプリケーションに高い精度と柔軟性を提供します。直感的なモーションコントロールとセンシング機能により、信頼性の高い再現性のある結果と使いやすさをユーザーに提供します。幅広い構成により、さまざまなウェーハプロービング、ハンドリング、検査アプリケーションに適しています。
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