中古 KLA / TENCOR 1007E #9254091 を販売中
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KLA/TENCOR 1007E Proberは、半導体デバイスの試験運用用に設計されたマルチアプリケーションプローバです。プローバは、完全に自動化されたDPM （Digital Pattern Measuring）モジュール、ステージ、ステッピングモーター、Opto-Mechanical Headなどのコンポーネントを組み合わせて構築されています。このコンポーネントの組み合わせは、小型集積回路をテストするための高性能、信頼性、正確な方法を提供します。DPMモジュールは高精細な解像度モニタを備えており、正確なパターン測定を可能にし、フレームバッファやCCDイメージングチップなどの専用のビデオ処理コンポーネントを備えています。ステージにはクローズドループステッピングモータが搭載されており、サンプルを0。1〜2。0ミクロン/秒の速度で正確に位置決めすることができます。光メカニカルヘッドは、光学イメージングシステムを使用して、プローブをサンプルの表面に正確に整列させます。ヘッドはまた、その位置を急速に調整することができ、反復可能な低ノイズプロービングを可能にします。KLA 1007E Proberは、半導体デバイスのテストと特性評価に適した汎用性と効率性の高いシステムとして設計されています。Proberには統合されたStage Control Console （SCC）が含まれており、Proberの動作の設定、制御、監視に使用されます。SCCは、すべてのproberコマンドにアクセスできるコントロールパネルと、proberのパフォーマンスをリアルタイムで設定および監視するためのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。さらに、プローブとステージ構成を保存してリコールできるプログラムファイルも提供しています。TENCOR 1007E Proberは、コンタクトプローブ、ひずみゲージプローブ、リッツ線、オープンピンプローブなど、さまざまなプロービングシステムと互換性があるように設計されています。また、誘電体プローブを使用して熱特性を評価することもできます。プローバには、データ収集と制御のためにPCに接続するためのデジタル入出力（I/O）ポートが装備されています。内蔵の絶縁層は、測定に影響を与える可能性のある静的、熱、およびその他の障害からデバイスを保護します。要約すると、1007E Proberは、半導体デバイスのテスト操作のためのマルチアプリケーション自動プローバです。高精度のDPMモジュール、サンプル位置決め用の信頼性の高いステッピングモーター、および反復可能なプロービング用のopto-mechanicalヘッドを備えています。Proberは様々なプロービングシステムと互換性があり、プログラミング、制御、監視のためのStage Control Consoleを備えています。内蔵の絶縁層は、さまざまな環境影響からデバイスを保護し、正確かつ再現性の高い測定を可能にします。
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