中古 KLA / TENCOR 1007 #9150404 を販売中

KLA/TENCOR 1007は、集積回路の製造に使用されるフォトリソグラフィーリソグラフィープロセスによって生成されるパターン化されたシリコンウェーハの精密な分析用に設計された半導体ウェーハ検査および計測ツールです。KLA 1007 Proberは、高度な光学、画像処理アルゴリズム、さまざまな計測ソフトウェアを使用して、ウェーハ上のパターンの詳細なパラメータを測定します。TENCOR 1007 Prober装置は、ロボットで配置されたウェーハステージ、画像取得および照明用の光学系、特殊照明源およびイメージングモード、さまざまなウェーハ検査および計測（IM）ソフトウェアアルゴリズム、強力なデータ処理および分析ハードウェアおよびソフトウェアで構成されています。このシステムは、プロセス監視、歩留まり解析、故障解析など、さまざまな計測アプリケーションで非常に正確な測定を提供するように設計されています。Proberには、オーバーカット、アンダーカット、ブリッジ、その他の構造欠陥などのリソグラフィー誤差を検出するための高度な画像解析ユニットが含まれています。また、白色光の干渉計を使用した表面フィーチャーの3次元解析も提供します。Proberは、単一の画像から幾何学的および構造的欠陥を検出、分類、測定できる自動欠陥解析（ADA）オプションを含むように変更できます。また、HCI （High Contrast Inspection）モードを搭載しており、微妙で異常を検出することが困難な場合もあります。Proberには、さまざまなパターンや形状の欠陥を検出、サイズ、分析するための包括的な計測アルゴリズムも含まれています。線幅、臨界寸法（CD）、臨界寸法均一度（CDU）などのグローバル測定、およびラインエッジ粗度（LER）、スタック測定、二次フィーチャー解析などのより高度な測定を実行できます。さらにプロセス制御のために、Proberにはレシピベースの基板マッピングなどの機能があり、ウェーハ全体を迅速かつ正確にマッピングできます。1007 Proberは様々なフォトマスク、レジスト、エッチングケミストリーと互換性があり、クロスプラットフォーム検証とデータの相関のためのSEMプラットフォームと統合することができます。Proberの包括的なメトリックデータレポートは、プロセス制御の改善、迅速な歩留まりの改善、正確なフィーチャー量の分析を可能にする完全なトレーサビリティを提供します。全体として、KLA/TENCOR 1007 Proberは、ウェーハ計測および半導体製造プロセスの最適化の標準を設定します。