中古 KARL SUSS / MICROTEC PM5 #9288491 を販売中
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ID: 9288491
ヴィンテージ: 1998
Prober
MITUTOYO WF Stereo Okular
CCD Camera connection and light source
Optic TMC vibration isolation table
MITUTOYO FS60 Series microscope
Objectives:
M Plan Apo 2
M Plan Apo 10
M Plan Apo 100
1998 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC PM5は、半導体デバイス試験およびウェーハプロービング用に設計された高性能プローバです。この機器には、50 x 50 mmの電動XYZストローク、高速ステージ、および高分解能の容量性プローブヘッドが含まれています。このシステムは、熱電クーラーを使用してプローバの温度安定性を促進し、サーマルドリフトを低減します。Z軸コントローラーは精密なZ軸の動きを提供し、また単位は自動化された真空のチャックを採用し、平らなサンプルとの正確な接触を可能にします。MICROTEC PM5機は、1mmから40mmまでの多種多様なダイサイズに対応可能で、最大400Hzのプロービング速度をユーザーが選択できるため、効率的なデータ処理が可能です。高い加速と低ノイズ性能により、信頼性と再現性の高い測定が可能です。KARL SUSS PM 5ツールには、サンプルの迅速かつ正確なアライメントを可能にする自動アセットも含まれています。MICROTEC PM 5モデルは、コンパクトで使いやすいパッケージで信頼性の高いデバイス試験とウェーハプロービングを提供します。装置は普遍的な使用のために設計され、IC、 DTVおよびMEMS装置テストのためのさまざまなソフトウェアオプションを組み込み、拡張された機能を可能にします。これにより、PM5システムはコスト効率が高く信頼性の高いウェーハプロービングに最適です。
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