中古 KARL SUSS / MICROTEC PA 300 #9353318 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC PA 300は、ハイエンドICニーズの1。5 μ m-5 μ mプロービング用に設計されたプローバです。プロセスモニタリング、トランジスタ特性評価、トランジスタ転送曲線、ウェハモニタリング、境界スキャン監視、および幅広いデバイスおよびコンポーネントのテストに適しています。このプローバーは、高い精度と再現性を提供します。自動化されたウエハハンドリング機能、低衝撃性、高速サーマルサイクリング、および高いプロービング速度により、ハイエンドIC生産に優れています。MICROTEC PA 300は、プローバーベース、ウェーハホルダー、プロービングヘッド、ウェーハマッピング機器、モーションコントロールシステムを備えた自動多軸ウェーハプローバーです。その多軸モーションコントロールユニットは、複雑な動きとプロービングの動きを可能にします。この機械は長い連続した時間に高精度および再現性を保障します。ウェーハホルダーは、上下プレートを備えたデュアルバージョンで、簡単で安全なウェーハハンドリング用に設計されています。KARL SUSS PA300は、高速で高解像度のサーマルサイクリングツールを備えています。アセットは、温度範囲に応じて5〜60秒のサイクルタイムを持ち、VCC加熱速度（最大65°C/s）により迅速な測定が可能です。温度サイクルは、精密クローズドループのペルティエ制御によって行われます。また、プローバーにはクリーンルームの互換性オプションがあり、ステーションのほこりがなく、十分に制御された環境を維持することで、効果的な作業環境を確保します。このモデルには、モデルまたはプロービングプロセスが故障した場合にステーションを継続的に監視し、その設定を自動的に回復する高度な自動回復機能もあります。KARL SUSS/MICROTEC PA300は、2。25m/s、 0。5 μ m軸繰り返し精度、0。9 μ mリニアリティ誤差、5 cm/sモータ速度、および0。5 μ mプログラミング分解能の合計プローブ速度を備えています。高度なロボットアームを使用してプローブヘッドをプローブ配置座標に移動させます。自動ウェハハンドリング機能により、1000 mmのラジアルリーチを持つカセット機器とロボットアームを使用することで、迅速なウェハ交換が可能です。要するに、PA300はハイエンドICの1。5 μ m-5 μ mプロービングニーズ向けに設計された高精度で信頼性の高いプローバです。自動化されたウェーハハンドリング、高速サーマルサイクル、高解像度、強力なモーションコントロールシステムにより、複雑なプロービングおよびプロセス監視タスクに最適なソリューションです。