中古 KARL SUSS / MICROTEC PA 200 #293603571 を販売中
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ID: 293603571
ヴィンテージ: 2006
Prober
(4) CASCADE MICROTECH XYZ Prober micro positioners
(4) Probe arms and prober holders
Joystick controller
Power control module
Transformer
Microscope
Light source
Isolation table
Chuck type: Non-magnetic
Camera
Temperature option:
(2) Thermochucks, 6"
TEMPTRONICS TPO 3010B Thermal chuck controller
TITAN Series TPO 3500:
Diameter: 8"-12"
Surface to base parallelism: <20 microns at +200°C
Thermal chuck controller
Chiller
Surface isolation:
Standard: >109 ohms
Available: >1014 ohms
Constant height thermo chuck:
Growth: <50 microns
Flatness: 50 microns
2006 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC PA 200 Proberは、精密なデバイスのプロービング、接触電気試験、および故障解析用に設計された高度なコンタクトプローブステーションです。このプローバは、MEMS、マイクロエレクトロニクス、オプトエレクトロニクス、半導体などの幅広いデバイス技術のテストに最適です。高精度リニアベアリングガイドZ軸を搭載し、高いプローブ力をより正確に再現・維持できるため、高い歩留まりと測定精度が向上します。プローバはまた、密閉ループサーボ制御Z軸を備えており、正確な接触先端力、高さ、およびアライメント制御を可能にします。MICROTEC PA 200 Proberは、高スループットの真空負荷6パッドマニュアルステージと完全に自動化された10パッドステージを備えています。このプローバは、200 µmから5 mmのサイズの小型デバイスと大型デバイスの両方に対応できます。カセットローダーと互換性があり、サンプルの自動ロード/アンロードおよびテスト、および複数のウェーハプロービングを可能にします。また、高精度温度制御デバイス試験用のオプションのサーマルチャックも備えています。KARL SUSS PA-200 proberは、マイクロプローブ、サーマルプローブ、イネーブルプローブ、および複数のキャパシタンスプローブを含む標準プローブの範囲で、幅広いプロービング要件に対応できます。また、非破壊プローブ（NDP）カートリッジを取り付けることも可能で、マルチレベルデバイスの高度なプロービングが可能です。測定機能の面では、KARL SUSS PA 200 proberはモジュール式のテスト制御プラットフォームを提供しており、ユーザーは特定の要件に合わせたテストシステムを設計することができます。自動DC、 RF電気試験、抵抗測定、各種タイミング測定が可能です。プローバはSEMI規格にも準拠しており、自動工場環境で使用することができます。高度な機能、高スループット、高精度な測定を組み合わせることで、PA-200 Proberは大量の自動プロービングおよび電気試験に理想的なシステムとなります。プローバーは、直感的なタッチスクリーンインターフェイスと組み込みのプロセスとレシピ管理システムを備え、ユーザーフレンドリーです。
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