中古 KARL SUSS / MICROTEC PA 150 #9023923 を販売中

KARL SUSS/MICROTEC PA 150は、ウェーハプローバ用に設計された高性能ウェーハプローブステーションです。組み込みコントローラと直感的なソフトウェアを搭載しており、迅速かつ正確な測定を提供します。Proberは、パターンを使用してプロービングするための200µmのピッチで、100µmから300µmまでプローブすることができます。MICROTEC PA 150の上段はマッピングレーザーで内部校正されており、プローブチップとデバイスパスの測定精度を保証します。プローバーにはx-y-zマニュアルステージが装備されており、ウェーハや基板を正確に動かすことができます。xステージはX軸で最大370mmまで移動するように設定でき、Y軸は最大570mmに達することができ、さまざまなウェハサイズと構成が可能です。また、MICROTECの優れた精度と制御を維持しながら、50mm/秒までの速度で移動する高速スキャンステージを備えています。その精密なスキャン機能は、ステージ全体の熱膨張を均一に低減するオンボード温度安定化システムによってさらにサポートされています。KARL SUSS PA-150には、高精度な測定機能が搭載されています。プローバは、単一のトランジスタまたはウェーハ全体の測定から高い再現性でデータを収集することができます。プローバのオンボードオートアライメントにより、シングルチップまたはウェーハ全体をプローブと迅速かつ正確にアライメントできます。最後に、KARL SUSS/MICROTEC PA-150は絶対位置システムを提供し、ユーザーは正確なニーズに合わせてツールを自由に設定できます。また、汚染制御を可能にするためのオプションのロードロックも提供しています。結論として、PA-150は研究開発と少量生産に最適な非常に精密で信頼性の高いウェーハプローバーです。多種多様なウエハサイズに対応し、効率的なプロービングプロセスのための高い精度と制御を提供します。