中古 ELECTROGLAS / EG 4090u #9205869 を販売中

ELECTROGLAS/EG 4090uは、半導体業界で使用される高精度ウェーハ検査用プローバです。高速オープンループサーボ駆動装置を搭載し、高精度なスキャンとポジショニングを実現します。それはより大きい正確さおよび均一性のための加速度センサーおよびエンコーダーのフィードバックが付いている十分に封じられた6軸の動きシステムを備えています。EG 4090uは、最大200mmまでの基板での作業が可能で、最大プロービング高さは75mmです。エレクトログラス4090 Uのプロボスコープは最大倍率が1000xで、解像度は最大0。83nmです。ブライトフィールド、ダークフィールド、可変コントラスト画像を提供する照明ユニットを内蔵しています。また、スキャンとナビゲーション中に画像を安定させるユニークな高輝度フォーカシングマシンを備えています。この顕微鏡ツールは、蛍光イメージング用の入射光源を含む、幅広いプロービングアクセサリに対応できます。4090uは、高度なサーフェスプロファイリング資産も備えています。対称地形と非対称地形の表面地形を特徴付けるための光学干渉計を採用しています。これは、熱機械表面特性の測定と接触パッド形状の量子マッピングを可能にする高い時間分解能を備えています。ELECTROGLAS 4090uには、安全なサンプルホルダー取り付け用の静電チャッキングモデルも装備されています。チャッキングとデシャッキングに適用される力は、ユーザー定義です。サンプルホルダーは、E99.1やE130を含むSEMI規格との互換性があります。4090 Uは、幅広いサードパーティ製オートメーションシステムおよびソフトウェアパッケージと互換性があります。これにより、既存のシステムとの統合と互換性の柔軟性が向上します。さらに、SEMI-ATL、 SEMI-PSR/GAT、 SEMI-MOSなどの幅広いフォームファクタ規格に対応しています。ELECTROGLAS/EG 4090 U proberは、最新の標準およびオートメーションソリューションをサポートする高度で高精度なウェーハ検査ツールです。高解像度プロービング、光干渉、静電チャックの組み合わせにより、多くの半導体製造用途に最適です。