中古 ELECTROGLAS / EG 2080 #9278078 を販売中
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EG Technologies社が発表したELECTROGLAS/EG 2080は、5軸動作装置を備えた半導体エレクトロニクス業界のプローバです。単方向のオンザフライスキャン機能と高速リトレース機能を備えています。これにより、あらゆる方向に詳細な制御を行うことで、高性能なウェーハプロービング結果が保証されます。Proberの高解像度ウェーハプロービングのオプションには、解像度1 nmの600 umおよび950 umの垂直プロービング範囲が含まれます。プロービングのために、システムは120 umのような小さな水平視野を備えています。これは、ウェーハ表面の最高の機能をプロービングするのに適した、市場のあらゆるプローバーの最高解像度を提供するのに役立ちます。プローブカード電気インターフェースは、CおよびMタイプのプローブやスプリング接点など、さまざまな電気接続オプションを備えた高速プロービングおよび測定用に設計されています。これにより、単一のコネクタを介して同時にプロービングと操作を行うことができます。EG 2080は、電気接触力を設定するための自動および手動調整のオプションも提供します。ELECTROGLAS EG2080ユニットは完全に自動化されており、電源、モータ制御、モーションコントロールシステムはすべてELECTROGLASワークステーションによって管理されています。これにより、自動セルフテスト、アライメント、コンタクト、リトラクションなど、すべてのテスト操作を自動化できます。このマシンには、プローブポゴメンテナンスやその他の機能も含まれています。キャリブレーションされ、制御されたモーションシステムは、最大380mmの5軸動作範囲を提供し、XおよびYでは10nm、 Zでは50um、回転では0。1ミクロン単位で調整可能です。さらに、このツールは、デジタル電子ビーム(DEB)アセットを統合して、臨界寸法(CD)測定の比類のない精度を実現します。このコンポーネントの組み合わせにより、制御、柔軟性、スケーラビリティが可能になり、ELECTROGLAS 2080はさまざまなウェーハプロービングおよびプロセス開発ニーズに最適です。プローバーは、堅牢な設計と材料により、厳しい生産環境での最適なパフォーマンスを実現し、正確性と信頼性の高いデータ取得を保証します。
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