中古 ELECTROGLAS / EG 2001X #9155139 を販売中

ELECTROGLAS/EG 2001Xは1978年にリリースされたフル機能のプローバーで、故障解析やウェーハテストに使用されています。これは、トランジスタやダイオードなどのウェハレベル部品のプロービング、アライメント、および接触試験を目的とした温度補償、パラレルプレート、ダイレクトドライブ計測ツールです。プローブステーションには、9軸、3キャリッジテーブル、動的垂直および水平アライメント装置、および温度補償付きのデュアル圧力検出ウェハチャックシステムが含まれています。高速なトラバースメカニズム、コンパクトなデザイン、2つの独立したXYモーションステージを備えています。EG 2001 Xには、3つの角度を提供する角度調整ユニットが付属しており、プローバはウェーハ表面に均一な接触のために均等に力を分配することができます。また、コンタクトテストプローブの容易なアクセスと位置決めを可能にする調整可能なヘッドを備えています。このデバイスは、さまざまなプローブの高さに手動で調整でき、各ウェーハポケットに独立した調整を提供します。動的水平になる機械はダイの異なったテストプローブの速い整列を可能にします。ELECTROGLAS EG2001XにはRS-232シリアルインタフェースが搭載されており、ウェーハの自動取り扱いやデータ収集に対応する複数の機能を備えています。また、専用のオンボード電源と、プローバの位置と力を制御するための電流ソース制御も備えています。同様に、このツールは、プローブの位置、配置、現在の値を制御する複数のノブを備えているため、ユーザーは独自のニーズに合わせて設定をカスタマイズできます。ELECTROGLAS 2001 Xは、2つの独立したXYモータ軸と1つの垂直軸を持つフルサイズプローバです。200 mmの最大移動範囲を提供し、0。25 μ mのエンコーダ分解能と0。3 μ mの試験精度を備えています。ウェハハンドリングは、2つのフロントローディングカセットと25mmウェハ全体に完全にクリアチャックでアクセスできるアンローディングアームを内蔵しています。さらに、このツールは最大800 μ m/secのスキャン速度と最大70Nのプローブ力を備えています。全体的に、ELECTROGLAS/EG EG2001Xは、金型プロービングおよび接触試験アプリケーションに優れた柔軟性を提供する信頼性の高い正確な測定ツールです。