中古 ELECTROGLAS / EG 2001X #293604672 を販売中
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ELECTROGLAS/EG 2001Xは、半導体ウェハテストとプロービング用に設計されたプローバです。メインフレーム、XYステージ、プロバーヘッド、ワークステーションで構成されています。メインフレームはプローバーのベースを提供し、ワークステーション、XYステージ、プローバーヘッドを制御します。2つのCPUとさまざまな入出力インタフェースを備えています。XYステージは、デバイスをテストするプロバーヘッドアセンブリ用のウェーハの正確で再現性のある動きを提供します。5µm精度の2ループモータ制御システムによって駆動されるサーボモータ駆動ステージです。プローバーヘッドは、10µmのZ分解能と10µmの再現可能な精度を備えたウェーハデバイスのテスト用に3軸の動きを提供します。プロバーヘッドには、ハンドル、空気圧駆動プロバーアーム、プロバーチップ、自動整列ツールが装備されています。ハンドルはプロービング中にアームとチップを操作するために使用され、空気圧駆動アームはプロバーチップを細かく制御します。プローバーチップは、プローブとテスト中のデバイスのインターフェースであり、自動整列ツールはプローブチップをデバイスに配置および修正するために使用されます。ワークステーションは、オペレータにプローバとXYステージを設定および制御するためのグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を提供し、テスト中のデバイスからデータを収集します。ワークステーションはまた、パターンプログラミングとウェハマッピングソフトウェアを使用してデバイスの特性評価を可能にします。これは、デバイスのパフォーマンスを評価するためのデータを処理し、分析するために使用することができます。EG2001 Xは、半導体ウェーハの正確かつ再現性のある試験およびプロービングを保証するために、さまざまな技術を使用しています。proberの各部品は厳密な指定に造られ、システムは信頼でき、反復可能な結果を提供するように設計されています。
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