中古 ELECTROGLAS / EG 2001CX #9260446 を販売中

ELECTROGLAS/EG 2001CXは、プロービング操作を通じて高精度の電子デバイスとフォトニック機器の検査とテストを行うために設計されたコンピュータ制御ウェーハプローバです。セラミックベースのベースと、最大限のアクセシビリティを実現するオープンデザインを備えています。この装置は、複数のヘッドコンフィギュレーションをサポートし、30位置の校正ボードを備えており、試験処理の柔軟性を最大限に高めています。Proberベースは、さまざまなタイプの試験装置に対応するように移動および傾斜するように設計されています。これにより、高さレベルが異なる最大2450 x 1150mmの大きなテストデバイスにアクセスできます。また、より大きなデバイスに対応するために+5°から-20°までの調整可能な傾き範囲を備えています。さらに、2001CDXにはグラフィカルユーザーインターフェイスを備えたタッチスクリーンと、+/-50mmの範囲のリニア位置決めシステムがあります。これは、x、 y、 z軸の高精度な動きの範囲を提供します。本体は直径300mmまでのウエハに対応可能です。自動ウェーハ積載機を搭載しており、ウェーハの自動アライメント、アンロード、裏面プロービングが可能です。このツールはまた、ユーザーが特定の生産ニーズに合わせてアセットをカスタマイズできる「ティーチモード」を提供します。2001CDXには、0。1mm〜1mmの範囲のオフセンターセンタリングスキームを提供する高度な光学センタリングモデルもあります。この2001CDXには、ウェーハスケジューリングとトラッキングを自動化するためのWafer Manager I/O （WMIO）テクノロジーが搭載されています。この技術は、在庫、履歴、およびプロセス制御の相互作用のオンライン機器を提供しています。このシステムはまた、ユニットコントローラへの安全なアクセスを提供し、ウェブブラウザを介して遠隔操作のための統合されたウェブサイトが含まれています。このプローバは、エッジプロービング用の2つのヘッド、スルーウェーハプロービング用の1つのヘッド、電気接触プロービング用の1つのヘッド、マイクロポジショニング用の1つのヘッド、および他のいくつかの特殊な機能を含むマルチヘッド構成が可能です。また、光学系、マイクロポジショニングステージ、高速データ収集システム、カスタムプローブなど、さまざまなテストアクセサリにも対応できます。2001CDXツールは、複数のウェーハハンドリングタワーをサポートし、複数のウェーハを同時に処理するための柔軟性を提供します。単一のハンドポジションまたは自動化されたウェーハハンドリングタワーをアセットに使用して、最大4バッチのウェーハをテストに使用できます。このモデルにはプローブカードの設計と診断ステーションも含まれており、テスト環境を強化するために複数のテスト信号経路を提供します。