中古 CASCADE MICROTECH / ALESSI REL 6100 #9085022 を販売中
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ID: 9085022
Semi-automatic probe station
(1) Microscope: A-Zoom
Magnification: Objective 1x, 5x (14x~700x)
Vacuum Chuck: 200mm Triaxial Chuck ( < 200 fA)
Stage X-Y: 203mm x 203mm
Platen Z: 50mm
Manual X, Y and Theta Motion
Manual X, Y Microscope Motion
Linear Backlash Free Movement
(4) Positioners
Model: 329-1M
X, Y, Z Axis travel: 15 mm
Positional accuracy: 1 um
Hold down: Vacuum or magnetic
Drive: Mitutoyo micrometer
Connector: Co-axial or Tri-axial
(1) Probe tip holder
Tri-axial
1.5 meters cable
Low current / low noise: 100fA leakage performance
Includes:
(1) Darkbox
(1) Vacuum pump
(1) Anti-vibration table.
CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 6100は、今日の高度なウェーハテスト要件のニーズを満たす高性能プローバです。このプローバは、精度、速度、信頼性のユニークな組み合わせを提供します。ALESSI REL-6100は、デジタル信号処理を備えたクローズドループPID温度コントローラを備えているため、プローバは正確な温度制御と厳密な温度制御の均一性を提供できます。これにより、急速な温度変動の存在下でも正確な測定が保証されます。また、プローバには自己校正機能が内蔵されているため、長時間でも精度を維持できます。このプローバーはまた、プロービング中にプローバーの針を指示するための統合された真空ウェーハサイドステージを備えています。これにより、精度、再現性、汚染の回避が向上します。プローバのXYポジショナーと組み合わされたこのウェーハサイドステージは、ウェーハをプロービングする際の優れたアライメント精度を実現します。CASCADE MICROTECH REL 6100はユーザーフレンドリーに設計されています。すべてのコンポーネントにユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)が装備されており、使いやすさを実現しています。また、組み込みレシピの豊富なライブラリがあり、ユーザーはテストのニーズに合わせてパラメーターを迅速かつ効率的に設定できます。プローバーには、検索校正プログラムと針の精度を保証する自動針半径インデックス校正もあります。これにより、高いプロービング速度でも最大の測定精度が保証され、迅速かつ正確なテスト実行が可能になります。プローバーはまた0。4mmから50mmの印象的なテストカバレッジの範囲を備えています。また、多種多様な寸法解析や応力測定装置に対応しているため、必要に応じて高度な試験機能を利用することができます。また、REL 6100は低消費電力設計を備えており、熱分解なしで長期的なシングルシフト動作を可能にします。全体として、ALESSI REL 6100はウェーハテストのための優れたプロバーオプションです。使いやすく、コストを最小限に抑えながら、高い精度、スピード、信頼性を提供します。
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