中古 CASCADE MICROTECH / ALESSI REL 5000 #9355690 を販売中
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CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 5000は、材料特性評価用に特別に設計されたプローバーです。これは、銅、アルミニウム、シリコンウェーハ、およびシリコンオンインシュレーター(SOI)ウェーハなど、さまざまな半導体材料の性能をテストするために使用されます。マイクロ波周波数と高分解能の光学顕微鏡を使用して、抵抗率、容量、インダクタンス、複数の材料間の遷移など、さまざまな材料の電気特性を測定します。ALESSI REL 5000 proberは、さまざまな試験治具で使用するように設計されています。加熱可能なXYステージを備えており、室温から150°Cまでの温度で様々な材料を探索することができます。さらに、プローバは、高いアスペクト比(背の高い)ウェーハまたは小さなダイサイズのプロービングを可能にする特殊なツーリングで構成することができます。プローバーは、直径8インチの最大サイズのウェーハをプロービングすることができます。CASCADE MICROTECH REL 5000 Proberは、異なる材料をプローブする能力に加えて、シート抵抗、モビリティ、静電容量の測定など、さまざまな特性評価テストを行うことができます。これは、ユーザーが特定のニーズを満たすために測定テストのパラメータをカスタマイズすることができますユニークなソフトウェアパッケージが装備されています。このソフトウェアを使用すると、ユーザーは最大50のテストを構成および保存でき、Proberはテストごとに最大250の結果を保存できます。REL 5000 proberはまた、ユニークな光学顕微鏡ステーションを備えています。また、従来の光学顕微鏡では見ることができなかったウエハ上の特徴を測定できるよう、広い視野を保ちながら、2つの独立制御式フォーカスレンズを使用して、非常に高解像度のイメージングを実現しています。また、光学顕微鏡ステーションには電動XYステージが装備されており、ウェハ上の複数の場所から測定を行うことができます。最後に、CASCADE MICROTECH/ALESSI REL 5000 proberには、特定の条件が満たされていない場合に自動的にシステムをシャットオフする内蔵の安全インターロックシステムが装備されています。このシステムは、ユーザーがproberの動作中に安全性を維持し、すべてのテストが適切に行われるようにするのに役立ちます。全体的に、ALESSI REL 5000は、正確で再現性の高い結果を保証するように設計された汎用性とユーザーフレンドリーなプローバーです。様々な材料の電気特性を素早く効果的に測定できるので、多くの半導体材料の特性評価アプリケーションに最適です。
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