中古 CASCADE MICROTECH / ALESSI EPS 150 #293642427 を販売中

CASCADE MICROTECH / ALESSI EPS 150
ID: 293642427
ウェーハサイズ: 6"
Probe station, 6" Solid station frame.
CASCADE MICROTECH/ALESSI EPS 150 proberは、高精度デバイスとチップ特性評価用に設計されたコンピューター制御の超精密ウェーハプロービング装置です。研究開発ラボ、大学、デバイスおよびファウンドリーテストに最適なソリューションです。ALESSI EPS 150 proberは、金属ベース、ウェーハステージ、プローブカード、アライメントヘッド、コンピュータシステムで構成されています。最大150mmのダイをサポートする大きなチャックエリアを持ち、adepoや3Mタングステンなどのさまざまなカセットに準拠しています。ウェーハステージは、XYz (X軸、 Y軸、 Z軸)を0。1 μ m(ミクロン)の分解能で高速かつ正確に動作させるためのダイレクトドライブユニットを備え、トルクモータを使用して直線的で反復可能な運動を作り出します。さらに、400〜600ミリメートルのクランプ範囲と最大20mm/sの積載速度を持つ機械式チャックを装備しています。CASCADE MICROTECH EPS 150 Proberは、X軸に沿った+/-15°回転を可能にする調整可能なテストヘッドを備えており、位置決めとアライメント精度が向上します。角度を付けられたテストヘッドの設計はまた中指の調査および側面の電気関係の容易なセットアップを可能にします。さらに、最大1。2 μ mの精密焦点を持つオートフォーカス機を提供しています。さらに、EPS 150 proberには、ファーストシーリングオプションと「初めて」ウェーハ接触を20〜30%改善するユニークなチャックツールが付属しています。CASCADE MICROTECH/ALESSI EPS 150プローバは、最大600 μ A(マイクロアンペア)の電流調達と1100 mV(ミリボルト)および4ボルトの測定能力を提供します。高周波インピーダンスを正確に測定するための超低ノイズおよびDC安定測定アセットを備えています。また、ウェーハ接触に最適なプローブと精度向上のための+/-8KVの静電放電保護も含まれています。ALESSI EPS 150 proberは長期運用向けに設計されており、機器の状態と性能に関するフィードバックを提供するモニタリングモデルを内蔵しています。さらに、CASCADE MICROTECH EPS 150 proberには、業界標準のソフトウェアパッケージであるCAMSTARが含まれており、業界で最も人気のあるプローバー言語であるE-Testをサポートしています。さらに、EPS 150は、ユーザーフレンドリーなインターフェイスと手動、半自動、および完全な自動制御動作モードを提供します。結論として、CASCADE MICROTECH/ALESSI EPS 150 proberは、0。1 μ mの解像度、最大600 μ Aの電流調達、および最大4電圧測定機能を提供しながら、優れた精度と再現性を提供します。また、内蔵のモニタリングと診断、標準プローバー言語の出力(E-Test)も提供します。ALESSI EPS 150 proberは、R&Dラボ、大学、デバイスまたはファウンドリーテストに最適なツールです。
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