中古 AXCELIS / FUSION 493095 #9216266 を販売中

AXCELIS/FUSION 493095は、3Dパッケージ、フリップチップ、シリコン、MEMS、および（TSV）技術を介したシリコンなどの高度な半導体製造プロセスで使用するために特別に設計された高度なプロービング装置です。このシステムは、大規模な生産を処理することができ、さまざまなプロービング戦略をサポートしています。FUSION 493095は強力なターンキー生産プロービングユニットです。最大4枚のプローブカードを搭載し、半導体の生産に高い柔軟性を提供します。各プローブカードを使用すると、最大4回の同時測定が可能で、より高い歩留まりが得られます。このツールのウェーハアライメント機能により、表面の歪みを最小限に抑えた正確なプローブ接触が保証され、間接画像の視認性アセットにより高いプロービング速度が得られます。このモデルのプローブアライメントは、ウェーハ位置を検出する間接視覚化装置を使用してウェーハ表面をスキャンすることによって行われます。このスキャン処理は、高解像度レーザーアライメントとウェーハの中心とその特徴を特定する高解像度カメラを使用して行われます。この可視化システムにより、ウェーハ上の各ダイの正確なアライメントが可能になり、生産プロービング中のダイ・ツー・ダイの変動を最小限に抑えます。AXCELIS 493095には、生産中のウェーハフラットを補正する自動マクロおよびマイクロサーボユニットも備えています。独立したマイクロサーボおよびマクロサーボは、1ステップにつき最大7ミクロンのプローブ位置を調整することができ、高精度の接触withwaferサーフェスを可能にします。さらに、その広範なマクロトラックのライブラリは、さまざまなプロービング技術のための事前定義およびカスタマイズ可能なウェーハマップの広い範囲を提供します。493095には、完全なPCI-Express通信インタフェースを備えたオープンアーキテクチャ設計とSCSI互換オプションが含まれています。そのソフトウェア環境は、安全なネットワーク通信を可能にし、FTP、デジタル証明書、暗号化キーなどの多様なネットワーク機能を可能にします。このマシンはまた、監視可能なパラメーターのフレキシブルな配列に対するリアルタイムの視覚的フィードバックを提供し、ウェーハテスト、ダイテスト、再テストモードなど、幅広いテストを可能にします。全体として、AXCELIS/FUSION 493095は半導体製造プロセス向けの高度で高性能なプローバです。自動化されたアライメントおよびサーボシステムにより、最高の精度のプロービングが保証され、完全なPCI-Express通信インターフェイスとSCSI互換性により、信頼性の高いネットワーキングとリアルタイムのフィードバックが保証されます。それはそれをさまざまな生産の調査の必要性のために理想的にさせる高度の柔軟性および制御を提供します。