中古 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9354561 を販売中

ACCRETECH/TSK UF 3000は半導体部品の検査・検査に半導体業界で使用されるフル機能のプローバです。プローバは、生産レベルのプロービング、評価およびファインプロービング、FIB断面解析、ウェハマッピング、TEMサンプル準備など、幅広い分析機能を提供するように設計されています。TSK UF 3000は、サンプルステージ、イオンビーム制御、ウェハマッピングソフトウェア、ウェハアライメント制御など、複数のモジュールで構成されています。サンプルステージは、ハードとソフトの両方のサンプル処理用に設計されており、オプションのインステージUV光源が付属しています。ウェハマッピングソフトウェアは、人間工学に基づいたユーザーインターフェイスと高速データ収集アルゴリズムを備えており、迅速かつ正確なリアルタイムマッピングを可能にします。ウェーハアライメントコントロールには、自動レベルと軸アライメントと補償などの機能が含まれています。プローバには、高精度のXY駆動装置を搭載したイオンビーム制御モジュールも含まれています。大容量たわみユニット、高精度ヒットレスXY、 Z制御、高速スキャンが可能なサンプルオンザフライ機能を搭載しています。イオンビームは、深部トレンチイメージング、クロスセクショニング、およびレイヤーエッチングに使用できます。さらに、このマシンにはサンプル保護用の高速充電補償ツールも組み込まれています。ACCRETECH UF3000には、ファインプロービングおよび高解像度TEMサンプル調製用に設計されたFIB（フォーカスイオンビーム）断面解析モジュールも含まれています。バックサイドエッチング、バックサイドステージリフトオフ、単方向リフトオフ、薄膜エッチングなど、幅広いサンプル調製オプションが可能です。最後に、UF3000 proberは包括的な環境モニタリング機能も提供します。これには、振動検出と分析、温度および湿度モニタリングが含まれます。これにより、一貫性のある結果が得られ、すべての測定が最適な条件下で実行されるようになります。