中古 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9298592 を販売中

ACCRETECH/TSK UF 3000は、音響ウェハプロービング用に設計された高精度の原子力顕微鏡（AFM）プローバです。Proberは、Quartz tuning-fork技術を使用しており、最大1ナノメートルの解像度で表面地形を測定できるスキャニングトンネリング顕微鏡（STM）を搭載しています。温度、湿度、動作圧力を制御し、再現可能な測定を可能にします。Proberは、RMU、 CD、ウェーハの薄型化、背面研削、ダイシング/ソーイングなど、複数の測定モードをサポートします。TSK UF 3000は、高精度かつ高精度（最大0。01nm）の高信頼性で安定した圧電式カンチレバーアクチュエータで設計されています。この作動は圧電式カンチレバーアクチュエータによって実現され、0。01 nm単位でZ軸移動が可能です。ACCRETECH UF3000は、日本のプライマリスタンダードにトレーサビリティを備えた高解像度測定機能も提供しています。ウェーハクランプ用の静電チャックと、サンプルの位置を最適化するために調整可能なサンプルステージを備えています。また、ウェーハ上のすべてのプロービングポイントを検出するように設計された高度な3次元スキャンヘッドを備えています。プロービングに加えて、サンプル操作、研磨、クリーニング、エッチングなどのポストプロービングプロセスもサポートしています。ユーザーフレンドリーな操作システムにより、さまざまなプロセスを自動化し手動で制御できます。プローバーはまた、短時間で欠陥の高精度解析を提供します。プローバから得られたデータは、ウェーハの故障モードの分析、断面画像からの3Dモデルの再構築、ウェーハの生産歩留まりの向上に使用できます。ACCRETECH UF 3000は、アコースティックウェーハプロービングおよび関連プロセス向けの信頼性の高い堅牢なプローバです。様々な業界で使用されている高精度ウエハーの解析に汎用性の高いソリューションを提供します。測定・解析にかかる時間を短縮し、高精度・高精度を実現します。また、ユーザーフレンドリーなオペレーティングシステムと優れたポストプロービング機能を提供します。その精度、精度、汎用性により、UF3000は高精度のウェーハプロービングに最適です。