中古 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9268061 を販売中
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ID: 9268061
ウェーハサイズ: 12"
Wafer prober, 12"
Cold temperature
Side loader
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z-Axis stoke: 37 mm
Z-Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Hot and cold chuck
SCU-600 Chiller
Temperature range: -40ºC to 150°C
No Hard Disk Drive (HDD).
ACCRETECH/TSK UF 3000は、ウェーハ試験およびデバイス測定用に設計された高性能プローバです。300mmまたは450mmのプロバーチャックと真空ホールドダウン装置を備えており、安全で信頼性の高いウェハーマウントを保証します。TSK UF 3000は、自動化されたウェーハプロービング用に設計されており、プロービング手順全体にわたって正確で反復可能なウェーハ位置のためのオプションのエアベアリングステージを提供します。また、ウェーハレベルの詳細な測定を提供する自動ウェーハ検査システム(AWIS)も備えています。AWISには、ウェーハに沿って最大64個の分割点を検出および測定できる2次元ビジョンユニットがあります。また、電気、熱、音響などの幅広い試験をサポートする高速データ収集機で構成されています。ACCRETECH UF3000には、高周波RFプロービング、サーマルウェハプロービング、デジタルプロービング用のさまざまなプロービングソリューションもあります。その高度なデジタルプローブステーション(DPS)は、高速で正確なパラメトリックおよびRFテストを可能にします。DPSには、幅広いサポート設備と最大10の連絡先を処理する機能が装備されています。また、ウェーハアライメント用の光学顕微鏡とRFプロービング用の高周波モジュールを内蔵しています。UF 3000には、ユーザーがウェーハテストプログラムやデータにすばやくセットアップして簡単にアクセスできる完全機能のタッチスクリーンコントローラもあります。コントローラはまた、ユーザーがプローバまたはホストコンピュータからデータを選択して表示することができ、ウェーハプローブ測定用に統合されたユニットセットを備えています。コントローラはまた、チューニングパラメータ、ウェハテストプログラムの設定、および格納されたデータをオンボードメモリに格納します。ACCRETECH/TSK UF3000は、高精度で信頼性の高いプローバで、高生産性のウェーハ試験およびデバイス測定アプリケーションに最適です。効率的なウェーハプロービング、正確な検査、詳細な測定を行うために設計されており、半導体デバイスの試験および製造プロセス制御に最適です。
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