中古 ACCRETECH / TSK UF 3000 #293621716 を販売中
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ID: 293621716
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Wafer prober, 12"
Process: V5400 Hot air
Load port
ATT A300T Air cooled chuck
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z Axis stroke (Applicable stroke): 37 mm
Z Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
Power supply: 120 AC, Single phase
2006 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 3000は、半導体デバイスの特性評価とテストのための高度なプローバです。これは、手動、接触ベースの測定から自動、接触なしの測定まで、さまざまなプロービング機能を可能にするモジュラー機器です。この機能は、ウェーハプロービング、パッケージテスト、故障解析など、さまざまな設定で使用されます。このシステムは、高精度プロービングに最適化されたタッチレス設計を備えています。コンタクトベースのプローブを使用する代わりに、TSK UF 3000は16チャネルの指遅延ラインモジュールを使用してデータを収集します。このモジュールは、配列形式でサブミクロン分解能でウェーハ表面全体をスキャンすることができます。これは、ディープエッチング機能と超精密操作と組み合わせて、非常に高い精度と性能を提供することができます。また、4軸駆動ステージを備えており、さまざまな軸でサブミクロンのスケールを正確に移動できます。このツールのコーディネートされたプローブマシンは、手動および自動測定ソリューションの両方を提供します。手動プロービングは、ウェーハ表面上のプローブを中断し、手動で関心のある値を読み取ることによって行うことができます。自動プロービングは、ツールの高度な光学系とコンピュータソフトウェアを使用して、手動アプローチよりも高速で正確な機能を検索および分析します。これは、欠陥を検出し、抵抗、静電容量、熱特性などのパラメータを測定するために使用できます。これらの機能は、ACCRETECH UF3000の幅広いアプリケーションを提供します。プロセスの最適化、デバイスのパフォーマンス分析、故障解析、ライフサイクルテストなど、さまざまな特性評価タスクに使用できます。また、大量生産環境に適しており、既存の生産ラインに統合することができます。接触なしのアプローチにより、クリーンルーム環境でのウェーハプロービングおよびパッケージテストに適しており、高精度かつ高解像度でデバイス特性に関する詳細なデータを提供できます。ACCRETECH UF 3000は、さまざまな半導体デバイス試験アプリケーション向けに高精度で接触のないプロービングを提供する先進的なプローバです。高度な光学系、スキャン指遅延ラインモジュール、4軸駆動ステージ、統合ソフトウェアの組み合わせにより、さまざまな設定で高精度データを提供できます。これにより、さまざまなプロセス最適化、デバイスのパフォーマンス分析、故障解析タスク、大量の本番環境に適しています。
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