中古 ACCRETECH / TSK UF 200SA #9283882 を販売中
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ID: 9283882
ヴィンテージ: 2005
Prober
Platform: J750 / J750EX
Floppy Disk Drive (FDD)
Magneto Optical (MO) Disk
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack:
Z-Axis driver
XY Servo drivers
Power control board
Video interface board
Power supply: (2) 24 V, 12 V, -12 V, 5 V, 48 V
VME Rack:
Slot / Board
Slot 1 / Master CPU
Slot 4 / VGA Card
Slot 5 / VGA Card
Slot 6 / COGNEX Board
Slot 8 / PIO Board
Slot 10 / GPIB Board
Slot 11 / 5-Channel PGEN board
Slot 13 / -
Slot 14 / DISP Sensor
Slot 15 / -
Slot 16 / Slave CPU
Slot 17 / Loader I/O
Slot 18 / Loader PGEN
Read side:
Driver board
F-Server driver
Theta server driver
(2) Fans
Loader side:
Loader driver board
OCR Camera
Loader sensor board
Loader axis board
Cassette cover
Elevator motor driver
Sub-chuck rotation motor driver
Turntable motor driver
(2) Transfer motor driver arms
Pre-alignment sensor
(2) Arms
Sub-chuck
Inspection tray
Temperature controller
Elevator / Clamper
Chuck top
Z-Unit
(2) XY Axis screw and motors
F-Axis screw
E1, E2 Camera module
Touch panel
Keyboard and joystick
Keyboard control board
Alarm lamp pole
Hinge: 300L
Miscellaneous:
Free stopper (Cassette cover)
Valve
Tie rod for loader / Main body
2005 vintage.
TSK/Tsubaki-UFS 200SA Proberは、電気的および機械的測定に使用される業界をリードする自動レーザー干渉計プローバです。超低Z軸プロファイルを備えた高分解能測定ヘッドを採用し、半導体ウェーハや関連部品の試験・測定に優れた精度と精度を提供します。ACCRETECH/TSK UF 200SA Proberは、高精度レーザー干渉計を使用して、半導体ウェーハの厚さ、平坦度、平坦度、弓の最小変動を測定し、優れた精度と精度で測定します。また、新たな立体アライメント技術とマルチドライブユニットを搭載し、様々な基板や半導体ウェーハで高精度かつ再現性に優れた測定が可能です。さらに、インテグラルオートフォーカスマシンにより、ウェーハ表面の細部を高精度で再現性のある測定が可能です。TSK UF200SA Proberはフットプリントが小さく、混雑したラボ環境での使用に最適です。また、合計8つのインクリメンタルエンコーダを備えているため、ウェーハのずれを検出し、自己校正してサンプルからサンプルまでの最高の精度と再現性を保証できます。さらに、このツールは統合された自動キャリブレート機能を提供し、相互接続されたデバイスとずれたデバイスの測定の高精度を保証するだけでなく、広い機械的範囲と動作速度の向上を備えています。ACCRETECH UF 200 SA Proberには、高精度の許容誤差、ウェーハ薄型化、ウェーハ反り補正ソフトウェアなど、効率的な動作を実現する複数のソフトウェアパッケージが搭載されており、高精度な読み取りを実現しています。これらのソフトウェアパッケージにより、プローバはサンプルと条件を自動的かつ正確に変更することができ、精度と再現性が大幅に向上します。UF 200 SA Proberは、半導体製造のための強力なツールであり、業界をリードする精度と再現性を小さなフットプリントで提供し、要求の厳しいラボに最適です。コンパクトで信頼性が高く、高精度で迅速な測定に最適で、優れた性能と効率を提供します。
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