中古 ACCRETECH / TSK UF 200SA #9235929 を販売中
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ID: 9235929
ヴィンテージ: 2004
Prober
Manipulator: MHF300L2
Stage chuck: Gold chuck
Temperature control: Hot chuck
Frequency band chuck temperature: 30°C~150°C
Cleaning unit type: Ceramics pad
CPU Type: 7507A
Ethernet
Slot number / Boards
Slot 1 / CPU
Slot 4 / VGAC
Slot 6 / COGNEX
Slot 8 / PIO
Slot 10 / TTL/GP-IB
Slot 11 / 5CH PGEN
Slot 14 / CAP Sensor
Slot 16 / AVME
Slot 17 / LD. IO
Slot 18 / LD. PGEN
ETC:
COGNEX Board version: 8200
External media: FDD, MOD
2004 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 200SAは、ウェハテストと分析を行うために使用されるプローバです。ハイエンドな研究開発・生産設備の要求に応えるために作られた次世代設計です。TSK UF200SAは、拡張試験範囲にわたって正確な測定を行うことができる多目的測定ツールです。この製品は、カンチレバー真空プローブ(CVP)、パラメトリックテスト、残留ガス分析(RGA)など、さまざまなプロセスのナノメートルレベルの測定に使用できます。クリーンルーム環境で動作するように設計されており、-40Cから+85Cまでの広い温度範囲での拡張動作用に設計されています。ACCRETECH UF 200 SAは、ウェーハプローバーのステージにおけるウェーハの正確な登録と位置決めを提供する完全に自動化されたウェーハハンドリングメカニズムを備えています。自動化されたウェハハンドラ装置には、独自のロードポートユニット(LPU)が付属しており、粒子損傷の可能性を低減します。さらに、TSK UF 200SAの自動システムは、測定性能において高い再現性を提供します。この装置には、さまざまなナノテクノロジーの自動化を提供するスキャンプローブ顕微鏡(SPM)ソリューションも含まれています。多目的ナノテクノロジーオートメーションユニットであるProTector™ソリューションは、フィールドテストおよび欠陥解析作業に使用できます。ProTector™マシンには、リモートSPM操作、自律スキャン、テストオートメーションなどの組み込みモジュールが付属しています。これらのすべての機能により、ユーザーはナノテクノロジー操作のスループットと効率を最大化できます。ACCRETECH/TSK UF200SAはまた、ユーザーがウエハの実際の形状とサイズを極めて正確に識別するのに役立つ高解像度ビジョンツールを備えています。高解像度のビジョンアセットにより、ユーザーはウェーハ表面に非接触でアクセスでき、物理的に接触することなくウェーハ寸法の全範囲にわたってパルス測定を行うことができます。ACCRETECH UF 200SAは、CVPパターンや特性評価やパラメトリックテストのための様々な分光計など、分析ツールの完全なスイートを提供します。UF 200SAはクリーンルームおよび実験室の環境のいろいろなテストおよび分析に使用することができる高精度のproberです。自動化されたウェーハ処理機構は、ウェーハの正確な登録と位置決めを提供し、SPM (Scanning Probe Microscope)ソリューションは、さまざまなナノテクノロジー自動化機能を提供します。ProTector™ソリューションは、高解像度ビジョンモデルとともに、ユーザーがウェーハと接触することなく正確な測定を行うことができます。また、CVPパターンや、特性評価やパラメトリックテストのための様々な分光計など、さまざまなテストのためのさまざまな分析ツールが付属しています。
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