中古 ACCRETECH / TSK UF 200SA #293677320 を販売中

ACCRETECH/TSK UF 200SAは、半導体アプリケーションで高精度の測定を行うために設計された特殊なプローバです。この装置は、200mmスキャン範囲と、シリコンウェーハ、OAMTウェーハなど、幅広い半導体材料のプローブを可能にする準拠チャック設計を備えています。TSK UF200SAは、調和して動作するように設計されたさまざまなハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントで構成されています。主なハードウェアはACCRETECH UF 200 SA prober本体です。proberの全体的な動作を管理し、すべてのシステムデータを保存するコントローラです。本体はCVM （Central Valve Module）とPICM （Precision Changeable Chuck Module）で構成されています。CVMはサンプルの支持面のための高精度圧力制御メカニズムです。0。01Paの分解能で圧力制御され、プローブやチップの正確な位置決めが可能です。PICMにより、サンプルの支持構造をプローブに正確に微調整できます。さらに、TSK UF 200 SAには、サンプルアライメントおよび測定プログラムのための高度なソフトウェアメソッドが搭載されています。そのモーションコントロールユニットは、正確な測定のためにプローブの位置を正確に調整できるフィードバック制御機に基づいています。サンプル位置決め精度は0。1 μ mまでで、ACCRETECH/TSK UF 200 SAは最大70MHzの周波数応答でSパラメータを生成できます。UF 200SAには、テストウェーハ上のin-situプロセス監視システムを製造するために、熱処理、スパッタ、プラズマエッチングシステムに接続できるインターロックユニットが付属しています。インターロックユニットは、メインプローバコントローラにプロセス時間、温度、圧力などの情報を提供します。これにより、本体はそれに応じて反応し、プローブ注入や真空制御などのプロバーアクションを実行できます。さらに、このユニットは、一連の内蔵センサーと検出器を介してリアルタイム侵入防止の実装を可能にします。ACCRETECH UF 200SAは、多種多様なプロービングおよび測定タスクを高精度で完了することができる汎用性の高いプロバーツールです。高度なモーションコントロールアセットにより、正確なサンプルの位置決めが保証され、そのソフトウェアメソッドを設定して、サンプルアライメントやプローブ選択などのステップを自動的に実行できます。最後に、インターロックユニットは、テストウェーハ上のプロセス監視システムの統合を可能にします。