中古 ACCRETECH / TSK UF 2000 #9251570 を販売中

ACCRETECH/TSK UF 2000は、全自動300mmウェーハプローバです。半導体ウェーハ処理用に設計されており、高スループット環境でのウェーハ上のデバイスの信頼性の高い測定とテストが可能です。このプローバは、ウェーハのミスアライメントのリアルタイム補正や高度なステージキャリブレーション装置などの高度なアライメント機能を提供します。TSK UF 2000はクリーンルーム環境での使用に適しており、最大4つのホットチャックと2つのコールドチャック、および複数のステージアセンブリをサポートし、200mm以上のウェーハサイズを照らすことができます。ACCRETECH UF2000のモーター式および事前調整されたx、 yおよびthetaステージでは、4軸ローカルスキャンにより、さまざまな特殊プローバーカードまたは専用モジュールにサンプルを正確にスキャンできます。プローバーヘッドには、サンプルプローブが常にウェーハ表面に接触していることを確認するために、最大75mmまで拡張できる4本の針が装備されています。また、2つのイメージセンサーを使用して、小さなサンプルサイズでサンプリングする際の精度を向上させるグリッドレスパターン認識システムも備えています。サンプルの座標は直ちに計算され、プロービングポイントの位置を最適化します。さらに、ACCRETECH/TSK UF2000のAlign Maxユニットでは、サンプルグリッド画像をあらかじめ定義されたパターンに参照することで、微妙なウェーハのずれを修正することができます。これにより、特に温度と湿度の著しい変化がサンプル座標の微妙なシフトにつながる可能性がある状況で、ウェーハ試験結果の信頼性を確保することができます。また、プローバーはステージキャリブレーションマシンを内蔵しており、より正確なステージポジションを提供します。耐久性の面では、UF2000は0。2 μ mの印象的な再現性レートでノンストップを実行するように設計されています。また、多段式エアクッションを採用し、チャック上でウェハをしっかりと固定することで、ウェハを汚染から保護します。結論として、UF2000は信頼性、精度、精度を兼ね備えた半導体ウェーハ加工に理想的な選択肢です。それはそれが最も繊細な測定とテストのタスクを処理することができます機能の範囲を持っています。高度な機能のおかげで、ACCRETECH UF 2000は、高スループット環境でウェーハ上のデバイスの効率的なテストと測定を容易にする信頼性の高い機器です。