中古 ACCRETECH / TSK UF 200 #9260034 を販売中

ACCRETECH/TSK UF 200は、半導体業界の要求に応えるために特別に設計されたプロバーソリューションです。完全自動化されたウェーハプロービングシステムで、高精度の測定精度、迅速なプロービング時間、信頼性の高い試験性能を提供します。TSK UF 200は、200mm〜300mmまでのウエハサイズに対応し、プロセス開発、品質管理、故障解析に高解像度の光学顕微鏡を提供します。高精度な結果を得るために、最大32ピンを同時に測定できます。ACCRETECH UF200は、さまざまな種類のウェーハをサポートするためのプローブ技術も提供しています。これらのプローブ技術により、ミクロンスケールから数ミリメートルまでのウェーハの物理的、電気的、化学的特性を測定できます。物理的性質については、UF200はAFM（原子力顕微鏡）およびSEM（走査電子顕微鏡）機能を備えています。AFMを使用すると、サンプルのトポロジーと滑らかさを原子スケールまで決定することができます。一方、SEMはウェーハの表面および地下の詳細の高解像度画像を提供します。電気抵抗などの電気特性はFIB （Field Ion Microscope）で測定できますが、ACCRETECH/TSK UF200はCVおよびIV技術をサポートしており、より堅牢な電気試験が可能です。これらの様々な技術により、TSK UF200は組換えセンター、Shockley-Read-Hallパラメータ、およびインターフェース状態密度などを測定することができます。ウエハ表面に存在する酸化状態や化学状態などの化学的性質は、ACCRETECH UF 200のAuger Electron Spectroscopy （AES）機能を利用して測定することができます。AESを使用することで、ウェーハの化学組成を理解することができ、プロセス開発や故障解析の観点からさらに理解することができます。全体的UF200は、半導体ウェーハのさまざまな物理的、電気的、化学的特性を測定する複数の技術を搭載した高性能ウェーハプローバーソリューションです。半導体業界で高い信頼性と正確な測定結果を提供する強力で完全自動化されたツールです。