中古 ACCRETECH / TSK MHF 300L #9145225 を販売中

ACCRETECH/TSK MHF 300Lは、ウェーハおよび金型表面を迅速に検査するための完全自動化されたプローバです。このプローバは、高速機器のセットアップと優れた粒子およびダスト制御により、最大300ウェーハ/時間の高い集計スループットを提供するように設計されています。TSK MHF300Lは、軽量かつ低慣性マニピュレータで設計されているだけでなく、ダイナミックウェハハンドリング装置とプログラム可能なロボットコントローラを搭載しており、試験精度と生産性を大幅に向上させています。TSK自動ウェハ・フィルム検査システムを搭載し、肉眼では見えない金型ひび割れなど様々な欠陥を検出する機能を備えています。プローバとアナライザ間の相対位置は、システム全体の安定性に影響を与えることなく調整できます。これにより、試験結果とウェーハまたはダイの物理的欠陥の分析との間のギャップを減らすことが容易になります。プローバは、さまざまなプローブヘッド構成を可能にし、精密プロービングのためのプログラム可能な制御プラットフォームを提供します。また、プログラマブルな6軸ウェーハステージと、迅速かつ再現性の高い高度なウェーハハンドリングマシンを備えています。このツールは、迅速かつ信頼性の高い自動ウェーハアライメントと動きを可能にします。ACCRETECH MHF 300 Lには、ウェーハ表面とプローブヘッドの並列性を高める加圧チャックアセットを含む、複数のタイプのウェーハチャックも付属しています。また、接触および非接触測定機能、正確なプロービングのための可変プローブ力の設定、さまざまなテスト機能も含まれています。精密ウエハ表面測定用に、ACCRETECH/TSK MHF 300 Lは高解像度CCDカメラモデルを搭載しています。これにより、再現可能な精度で正確なダイツダイ測定が可能になります。プローバーはまた、スキャンの前後に粒子や塵をスキャンすることができます。ACCRETECH MHF300Lは、信頼性の高い汎用性の高いプローバーであり、ウェーハおよびダイの特性を試験および測定する際の生産性の向上という形で大幅なコスト削減を提供します。製造・開発環境、半導体試験やウェハ製造などの用途に適しています。