中古 ACCRETECH / TSK APM-90V #9314145 を販売中
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ID: 9314145
ウェーハサイズ: 4"-8"
ヴィンテージ: 1996
Probe station, 4"-8"
Hot chuck
Vacuum chuck: Nickel plated
Needle polish: Circle
No SACC
CPU Type: MVME 147S-1
Overall accuracy: Within 5 um
Fine alignment: CCD ITV Image processing
Hard disk: 3.5" 2HD (1.4M)
Display: 10.4" TFT Color LCD
X/Y-Axis:
Probing area: ±120 mm
Maximum speed: 200 mm/s
Z-Axis:
Full stroke: 34 mm
Maximum speed: 35 ms / 0.5mm Stroke
Θ-axis:
Rotation range: ±5°
Loader:
Casette mounts: 1 (Right single top)
Wafer Handing: Robot arm / Backside holding
Air supply:
Source pressure: 0.4 Mpa
Consumption: Approximately 0.1 liters / wafer
Vacuum supply: Less than -50 kPA , 30 l/min
Power consumption: AC 100V ± 10V, 50/60Hz, 1.5 kVA
Slot no / Board number / Board name
Slot 1 / MVME162 / Main CPU
Slot 2 / AVME-240 / Memory Board 128M
Slot 3 / - / EtherNet
Slot 4 / - / -
Slot 5 / TVME-322 FDC / SCSI / -
Slot 6 / - / -
Slot 7 / ITV / COGNEX4200
Slot 8 / FA0071A / Parallel In Out (PIO)
Slot 9 / FA0022C / XY Coordinater
Slot 10 / FA0037C / Sub - TTL / GPIB
Slot 11 / FA0139A / 5 Channels PGEN
Slot 12 / FA0132B / VGAC
Slot 13 / - / -
Slot 14 / FA0111 / CAP Sensor
Slot 15 / - / -
Slot 16 / AVME-115 / SLAVE CPU
Slot 17 / FA0013A / LD IO (Loader In Out)
Slot 18 / FA0014B / LD PGEN
1996 vintage.
ACCRETECH/TSK APM-90Vは、ウェーハテスト、測定、プロービングを行うために設計されたプローバーです。直径200mmまでのウェーハに適しており、200種類以上のウェーハに対応可能です。プローバーには、ビームスライディング、マルチゾーン、マルチゾーン真空チャックを備えた高速ウェーハ処理装置があります。チャックは静的ダイナミックコンビネーションデザインを採用し、効率的で信頼性の高いウェーハホールドを提供します。統合された熱制御システムは、プロービング中に正確な温度と再現性を保証します。プローバーには、ダイパターンを識別し、測定ウェハに適したプロービングルートを開発できる統合視野検査ユニットが装備されています。データを素早く分析できるアクティブビジョンマシンを搭載しており、より高い精度で迅速な試験時間を実現します。TSK APM-90Vには、自動および手動（ジョイスティック）モード操作も装備されています。マニュアルモードでは、ユーザーはジョイスティックを使用してテストヘッドを事前にプログラムされた位置に移動し、キャリブレーション、プロービング、測定、およびダイピッキングを実行できます。自動モードでは、ユーザーはテストのプロシージャを自動的に最適化するためにテストヘッドの動きをプログラムできます。Proberは高度なレシピを備えており、ユーザーは特定の要件に応じてさまざまなテストをパラメーター化できます。また、不具合検出ツールも内蔵しており、不良品をすばやく特定できます。データ収集および分析機能は、組み込みのMicrosoft Windowsオペレーティングアセットと包括的なソフトウェアプログラムによって強化されています。ACCRETECH APM-90Vは直感的な操作インターフェイスを備えており、他の機器や周辺機器と接続するためのインターフェイスのセットが付属しています。これには、グラフィカルユーザーインターフェイス、Ethernet/RS232インターフェイス、およびUSBポートが含まれます。Proberはモジュール設計も備えており、必要に応じて追加のコンポーネントを使用してカスタマイズまたはアップグレードすることができます。
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