中古 ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077 を販売中

ACCRETECH/TSK APM-90A proberは、フロントエンド半導体およびオプトエレクトロニクス業界で使用される汎用性と高精度のプロービング機器です。小型デバイスの特徴を迅速かつ正確に測定し、精密ウェハレベルの部品のアライメントプロセスを制御するように設計されています。このシステムは、独立して駆動されたx-y- θ（角度位置はθ）ステージ、2つのフォーカスステージ、ASU（自動ステージユニット）、2つのコンタクトプローブを含む、最大7軸を保持する一連の軽量アルミニウム基板に基づいて構築されています。各ステージの範囲は+/-8。8mm、最大速度は10mm/s、力範囲は0-2。3N、ステップサイズは0。01 µmです。プローブを50 µmまで精密にアライメントおよび測定することができ、デバイスの深さ、幅、角度、エピタキシーなどのパラメータを自動解析することができます。Proberは、1600 mm x 1250 mmの光学テーブルを使用して、正確なアライメントと低歪み動作の安定したプラットフォームを提供します。また、インプレーンウェーハアライメント用の4つのデジタルカメラと、プロービングプロセス中の位置フィードバック用の4つのエンコーダも含まれています。コントローラは最大6つの独立したモーターを制御することができ、アライメントおよびプロービングプロセス中の振動ノイズを低減するように設計されています。プローバは、エラーを低減し、手動操作を排除するように設計された自動ウェーハハンドラユニットと統合されています。このマシンは、ウェーハをx、 y、 θ方向に最大45mmまで移動させることができ、試験データに影響を与える振動効果を最小限に抑えることができます。Proberには、個々のデバイスのテスト用に設定可能なオンボードレーザー深度制御も含まれており、10nmの測定精度を提供します。プローバーには6軸モーションコントロールが搭載されており、最大12個のコンタクトプローブを制御して様々な測定が可能です。最後に、proberは現実世界の生産環境を模倣し、質の性能を保障する一連の現実的なテスト条件と設計されています。