中古 ACCRETECH / TSK APM-90A #293633226 を販売中

ACCRETECH/TSK APM-90Aは、ウェーハ測定および材料表面解析用の完全自動光学プローバです。それは容易なローディング、荷を下すことおよび多数の構成選択を可能にする独特な、人間工学的の設計を特色にします。TSK APM90Aは高度なプローブヘッドを備えており、高速かつ正確な測定のための高いサンプリングレートを提供します。ロボットアームにより、安定した環境で瞬時に正確かつ再現性のあるウェハピッキングが可能です。ユニークな機能は、拡張されたアプリケーションを可能にする「アームレス機能」です。統合されたタッチセンス技術は、サンプルと接触したときに正確な結果を保証するプロービング中に正確な力制御を提供します。また、再現性、信頼性、正確な測定を可能にする高分解能光学が特長です。レーザースキャナは、毎秒最大100Kポイントの高速スキャン速度を提供します。内蔵のフォーカスコントローラは信頼性の高い深度フォーカスを提供し、ピエゾスキャナは最高速度5GHzの測定値を毎秒提供します。業界をリードする1.2µmクローズドループサーボモータは、ウェーハサンプルとウェーハチャックの3軸ムーブメントを精度と精度で提供します。カードコントロールされたオープンループXYモーションにより、最大速度300mm/sのスムーズなモーションコントロールと1.8Gの加速を可能にします。ユーザーによる交換が可能なブレードは、ブレードの交換コストを最小限に抑え、複雑なアプリケーションに費用対効果の高いソリューションを提供します。統合されたモジュラーイメージングパッケージと解析ソフトウェアは、完全な表面解析パッケージを提供します。包括的なイベントコントロールシステムは、初期ウェハプロービングからデータ処理および測定まで、大量のプロセスを自動的に制御および管理することができます。安全のために、緊急停止ボタンも統合されており、パワーダウン後に起動状態を回復します。ACCRETECH APM 90Aは、ウェーハおよび材料表面の信頼性、正確性、効率的な測定および分析を提供するように設計されています。大量のデータを迅速かつ正確に分析することが非常に効率的であり、複雑な分析に優れたソリューションを提供します。