中古 SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW #9351299 を販売中

SEMITOOL STI-15A-60V-4-AWフォトレジスト装置は、集積回路（IC）製造のための信頼性が高く、専門的で、高精度なフォトニックエッチングソリューションを提供するために設計された革新的なツールです。この自動化システムは、高電圧電源とソフトウェア制御エッチングツールを組み合わせており、一連の異なるエッチング技術を使用して、業界で最高の精度と再現性を備えた任意のサイズのウェーハ上に均一な誘電層を生成します。STI-15A-60V-4-AWユニットは、高度なウェット処理とドライエッチングの組み合わせを使用して、アプリケーションごとに可能な限り正確なエッチングを保証します。まず、ウエハに化学アグルチンを塗布し、フォトレジスト材料の接着を促進します。その後、ウェーハは一定の高電圧にさらされ、フォトレジスト材料に光化学反応を誘導します。フォトレジストが電圧にさらされると、ウエハーは超純粋なケミカルバスに依存した高度なウェットエッチング法によって処理されます。このエッチング処理は、ウエハサイズの違いによるエッチング速度の違いを考慮して最適化されています。次に、ドライエッチングを使用してエッチング処理を完了し、最終的な誘電体層を作成します。このドライエッチングプロセスは、デジタル化された強烈なプラズマを利用して、最大10分の1のミクロンの精度で誘電体を素早くインテリジェントにエッチングします。エッチング深さと望ましい誘電体厚さの間の密度許容差により、ほぼ完璧な生産が可能です。最後に、エッチングされた表面を洗浄し、さらなる処理のために準備します。SEMITOOL STI-15A-60V-4-AWマシンの動作を制御するソフトウェアは、エッチング時間、電圧、温度、およびマスクの入力などのパラメータをツールに正確に制御します。さらに、統合されたエラー訂正アルゴリズムは、自然とヒューマンエラーの両方による不一致による問題の軽減に役立ち、直感的で合理的なグラフィカルユーザーインターフェイスにより、簡単な操作と効率的な生産を可能にします。全体として、STI-15A-60V-4-AWフォトレジスト資産は、ウェーハ基板のさまざまなサイズにわたって誘電層の生産に優れた精度と再現性の高い精度を提供します。ウェットエッチングとドライエッチングを組み合わせることで、プロセスの制御性を高め、ソフトウェアとグラフィカルユーザーインターフェイスを統合することで、生産を成功させるために必要な利便性と柔軟性を提供します。