中古 PLASMATHERM HFS 3000E #9167518 を販売中
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PLASMATHERM HFS 3000Eは、高周波シリコン処理用に設計された次世代電源です。これは、単一のラックマウントされたモジュールで構成され、最大3kWの一定の電力を出力することができる完全な電源です。幅広い電圧と周波数設定を備えているため、さまざまなシリコンプロセスに簡単に電源を適応できます。HFS 3000E設計は、IGBT、 SCR、 FETなどの堅牢なゲート駆動半導体デバイスを使用したフルブリッジ、ダブルエンドのトポロジーに基づいています。このトポロジは、高効率、低スイッチング損失、最適化されたEMIおよび熱的フットプリントを提供します。また、伝搬遅延が少ないため、電圧/電流スイッチングが高速かつスムーズになります。PLASMATHERM HFS 3000Eは、幅広く滑らかな電源ラインを備えた完全に調整可能な出力を利用して、幅広いプロセス要件に対応する高効率の電力供給を可能にします。さらに、電源にはデュアルチャネルPFC (Power Factor Corrector)が装備されており、供給される電力の低高調波歪み(THD)を提供します。HFS 3000Eには、過電圧、過電流、過熱から保護するためのセーフガードも装備されており、フェイルセーフで信頼性の高い電力供給を提供します。温度設定と監視は、手動または外部制御入力を介して行うことができます。また、内部温度センサを搭載しているため、熱挙動を把握し、過熱による損失を回避できます。PLASMATHERM HFS 3000Eはまた、すべての電力パラメータを監視および制御するために使用されるグラフィカルユーザーインターフェイスを備えた高度な監視および制御システムを備えています。このシステムは、多くの近代的な業界標準のコントローラと互換性があります。HFS 3000E GUIを使用すると、電源の設定、エラー、ステータスを簡単に管理および監視できます。要約すると、PLASMATHERM HFS 3000Eは、高周波および高精度シリコン処理に使用するための強力で効率的で信頼性の高い電源です。堅牢なトポロジと電源供給、高度な保護および監視機能、およびユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスを備えています。さらに、多くの近代的なコントローラとの互換性により、Industry 4。0やその他の特殊なアプリケーションに適しています。
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