中古 MKS AX 7685 #72634 を販売中
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ID: 72634
ヴィンテージ: 2008
Reactive gas generator
Gas Supply: 100% Ar required for ignition only
Up to 6 slm of NF3, after plasma ignition NF3 can be added and the Ar removed
Ignition Pressure: 1-4 Torr measured at ASTRON outlet
Post Ignition Pressure: 1-10 Torr measured at ASTRON outlet
Reactant Output: >95% dissociation, up to 6 slm NF3 at 5 Torr
Wet Materials: 6061-T6 Aluminum hardcoat anodized, 6061-T6 Aluminum, Chemraz, Alumina
Control Interface: (9) and (25) pins D connectors, opto-isolated I/O
Inputs: On/Off
Outputs: Ready
AC line
Plasma: On
Cooling water: 2.0 gpm, < 30°C
Ambient: 40°C max
Manuals included
Power connector is not included
187 to 228 VAC, 50/60 Hz, 60A, 3 phase
Currently crated
2008 vintage.
MKS AX 7685は、産業用に設計された最先端の高安定性電源です。このアキシアルインピーダンス電源は、入力電圧範囲が10〜360V AC、周波数帯域が45〜500Hz、高出力電源が300kWまで広い。また、調整可能な電圧(最大300V)とパルス幅変調モードが内蔵されています。これらのすべての機能により、この電源はAC/DC電源変換や周波数制御システムなど、幅広い用途に適しています。この工業用グレードの電源は、高効率でコンパクトな構造です。その金属プレートハウジングは、さまざまな過酷な条件や温度での耐久性と一貫性を保証します。さらに、電流検出回路と過電圧保護が内蔵されているため、過電流または電圧スパイクによるデバイスの損傷を防ぎます。AX 7685の電圧精度は± 0。2%、周波数と電流の精度は± 0。5%、出力リップルとノイズは0。3%未満のリップルと20 mVp-pノイズです。また、出力パラメータを監視するためのLCDディスプレイを備えたマイクロプロセッサベースの制御システムも備えています。この電源はオートチューニング機能により、動的条件下でも正確で安定した信頼性の高い性能を提供します。MKS AX 7685は、温度保護機能とソフトスタート機能を備えた広い安全範囲を備えており、出力オーバーシュートとモータトルクの制御を最小限に抑えます。これらの安全対策により、このデバイスはさまざまな産業用途において安全で信頼性の高い選択肢となります。全体として、AX 7685は、信頼性の高い信頼性の高いデバイスを必要とするお客様のための優れた電源オプションです。その精度、精度、耐久性により、長期使用に最適です。
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