中古 MKS / ASTEX FI20656-1 #293645389 を販売中

製造業者
MKS / ASTEX
モデル
FI20656-1
ID: 293645389
Remote Plasma Source (RPS) LAM P/N: 27-149580-00.
MKS/ASTEX FI20656-1は、半導体産業において、照射・透過系を含む複数の用途向けに設計された高性能電源です。最大10キロワットの負荷に最大400V 600Aの調整可能なDC電源を提供できます。MKS FI20656-1独自の設計により、フルパワー範囲での電流と電圧の両方を正確に出力制御でき、90〜260 VACの広い入力電圧範囲を備えています。温度コントローラを内蔵し、周囲温度に基づいて出力電圧と電流を調整し、安定した出力を提供します。ASTEX FI20656-1は、堅牢で使いやすい制御システムで設計されており、半導体プロセスの信頼性の高い動作を実現しています。メニューとボタンの包括的なセットを備えたユニークなデジタルコントロールパネルにより、ユーザーは希望する電圧、電流、電源設定、その他の操作パラメータを簡単に選択できます。また、デジタルインターフェイスは、過電圧、過電流保護、フロントパネルディスプレイのLEDインジケータによる出力電力の監視など、さまざまな保護機能を提供します。また、FI20656-1は独自の技術を使用して、放射および伝導ノイズを最小限に抑え、高い電源で一般的なアークを防ぎます。高度な電子部品は、騒音レベルを低く保つためにEMI (Electro Magnetic Interference)抑制技術を使用しているため、騒音領域での動作に最適です。本体にはヒューズ保護システムが装備されており、過負荷の場合は電源ユニットをシャットダウンします。性能面では、MKS/ASTEX FI20656-1は、全電力範囲にわたって優れたパワーレギュレーションとリニア応答を提供します。それは1%以下の精密負荷およびライン規則を特色にし、100%までの温度の保護に。その高度な保護と安全機能はまた、ユニットの安全な動作を確保し、その寿命を延長します。要するに、MKS FI20656-1は半導体業界のアプリケーション向けに設計された先進的な電源ユニットです。使いやすいデジタルインターフェイス、高精度な負荷とライン制御、優れたノイズ抑制を備えています。その高度な保護および安全機能はまた安全な操作を保障し、単位の寿命を拡張します。
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