中古 LAM RESEARCH 853-015130-103 #75704 を販売中

LAM RESEARCH 853-015130-103は、薄膜蒸着技術用の高性能電源です。このユニットは、高精度の薄膜成膜プロセスおよび関連する薄膜特性評価アプリケーション向けに設計されています。制御されていない電源、アクティブフィルタ、温度制御モジュール、高度な安全機能を備えたコントローラなど、最適な薄膜成膜に重要なコンポーネントを多数備えています。汎用性の高い設計により、真空スパッタツールからeビーム蒸発システムまで、幅広いツールで使用できます。853-015130-103の規制されていない電源モジュール（UPS）は、幅広いラインおよび負荷条件にわたっても、最小のリップルで、継続的で信頼性の高い出力電力を提供できます。アクティブフィルターモジュールは、薄膜蒸着プロセスに干渉するノッチ歪みを低減します。温度制御モジュールは、チャンバに一定の電圧出力を提供することにより、所望の処理温度を維持するのに役立ちます。コントローラーユニットには、低電圧保護回路、短絡保護、過熱保護を含む高度な安全システムが付属しています。さらに、各プロセスが正確かつ効率的に実行されていることを保証する高度な監視機能を備えています。LCDディスプレイとパネルマウント型LEDにより、オペレータはさまざまな機械やプロセスのステータスインジケータに簡単にアクセスできます。LAM RESEARCH 853-015130-103電源は、幅広い用途にわたって継続的で信頼性の高い動作を実現するよう設計されています。電圧出力（0〜600V）と電流出力（0〜100A）の範囲があります。また、インテグラルステータスアラームリレー、LEDインジケータライト、および内蔵の過負荷サーキットブレーカが付属しています。時間遅延を最小限に抑え、生産性を最大化する優れた制御を提供するように設計されています。結論として、853-015130-103は薄膜蒸着プロセスのための優れた電源です。これは、最適なパフォーマンスのための重要なコンポーネントの範囲を備えており、高度な安全機能の範囲が含まれています。また、電圧と電流出力の範囲と精度と効率を確保するための洗練された監視システムを備えています。この電源は、信頼性と耐久性に優れた設計で、幅広い産業および研究用途に最適です。