中古 COMDEL CLF 5000 #9188217 を販売中

製造業者
COMDEL
モデル
CLF 5000
ID: 9188217
ヴィンテージ: 1998
Power supply for NOVELLUS Concept 2 1998 vintage.
COMDEL CLF 5000は、プラズマ処理システムの厳しい要件を満たすように設計された高圧電源です。COMDEL CLF-5000は、5kWからの調整可能な出力電圧で最大0-5000Vの電力を供給できるオールディジタル、高周波、シングルフェーズコンバータ設計を備えています。クローズドループ、一定周波数、PFC、並列レギュレーションアーキテクチャにより、幅広い電源/プロセスコントローラで優れたレギュレーション、リップル、および電流スルーレート性能を実現します。CLF 5000は、最も過酷なアプリケーションで信頼性の高い動作を保証するために、高度な保護機能を備えています。電源には、出力電圧/電流OC/UV、熱保護、時間遅延保護、アーク/スパーク検出、および過電流(OC)保護が装備されています。CLF-5000のユニークな特徴は、強力なEMフィールドの存在下で最適なパフォーマンスを保証するノイズ耐性です。COMDEL CLF 5000は、関連する安全規制に準拠しており、電気ショックに対する優れた保護を提供します。COMDEL CLF-5000の直感的で使いやすいインターフェースにより、電源の設定と操作が簡単になります。7インチのタッチスクリーンディスプレイと24のファンクションキーは、デバイスの容量性タッチ入力への高速アクセスを提供し、設定の迅速なカスタマイズと電源の正確な監視を可能にします。このインターフェイスは、アプリケーション設定が異なる最大128のユーザー定義スクリーンをサポートし、出力電圧や電流などのリアルタイム値、および過電圧保護、過電流(OC)保護、短絡ダイオード、および過熱などの診断機能を表示できます。CLF 5000は、活性および反応性イオンエッチング、スパッタ沈着、酸素およびヘリウムプラズマ生成、イオン注入など、幅広いプラズマプロセスに適しています。この汎用性の高い電源は、有機ELディスプレイや太陽光発電処理にも適しており、優れた処理性能と費用対効果を実現しています。高い電力密度と柔軟性を備えたアーキテクチャにより、CLF-5000は、難易度の高いプラズマ処理アプリケーションで優れた性能を求めるコスト意識の高いお客様に最適です。
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