中古 ASTEX / MKS D13449 #9411203 を販売中

ASTEX/MKS D13449は、スパッタリング、蒸発、その他の熱プロセスなどのプラズマベースのシステムにRFエネルギーを供給するために設計された高電圧電源です。最大5kWまでの高電圧で最大2,000Vの電力を供給することができます。この電源には複数の出力構成が装備されているため、さまざまな要件を満たすさまざまなアプリケーションに使用できます。MKS D13449は、ユニポーラまたはバイポーラモードで動作するため、幅広い動作条件と出力条件を提供できます。また、電流および電圧フィードバック制御を備えた高効率電力コンバータ設計を備えており、ユーザーは可能な限り最高の精度と安定性を達成することができます。さらに、この電源はアクティブ電圧と電流制限を備えており、プロセスの安全性を確保します。このユニットには、デジタルヒューマンマシンインターフェイス（HMI）も装備されており、ユーザーはプロセスを簡単に監視および制御することができます。デジタルI/Oモジュールは、所望の出力を提供し、プロセスの最新の状態を監視するためにプログラムすることができます。さらに、モジュールを接続して強力な監視および制御ソリューションを提供することができます。ASTEX D13449はプラズマベースの製造および加工の厳密な要求に応えるように設計されています。業界標準の建設、高出力コンバータ、およびデジタルHMIにより、この電源は人間工学に基づいた強力なソリューションとなります。この電源は、堅牢で信頼性が高く正確な高電圧出力を提供するため、薄膜成膜、エッチング、スパッタリングなどの用途に最適です。