中古 ADVANCED ENERGY RF 30S #9111631 を販売中

ADVANCED ENERGY RF 30Sは、プラズマエッチングや薄膜成膜など、多くの製造工程に必要な安定したRF（無線周波数）電力を供給する電源です。信頼性が高く、一定の出力電位を持つ高性能アプリケーションで動作するように設計されています。出力電圧範囲は4〜15KV、ピーク電流は350 µA、最大入力電力は800Wで、ADVANCED ENERGY RF30Sは多くの用途に必要な高度な電力を提供することができます。RF-30S電源はまた保護の広い範囲を提供します。これは、アークやフラッシュを検出するための統合された機器を持っています、プロセスチャンバーの継続的な監視のためのオプションのガスフローモニターシステムと。また、高度なバイアス制御を備えており、複雑な形状におけるフィルムの完全性とプロセスの再現性を向上させています。電圧ランプとユーザーが選択可能なソフトスタート時間は、シャットダウン後に安全で徐々にフルピーク電流に戻ります。ADVANCED ENERGY RF 30 Sには、プロセスのパラメータをより制御しカスタマイズする高度な機能も装備されています。13〜70 MHzの調整可能な周波数範囲、最大電力800 Wまでのプログラム可能な自動チューニング、短いパルス操作を可能にする時間通りの調整可能なパルス長とパルス、0。1〜6 V/µsecのスルーレートにより、ユーザーはプロセスチャンバーに供給される電力をより大きな制御できます。RF 30 Sの電源はまた温度上のそして電圧保護および容易な欠陥の検出およびトラブルシューティングのための警報単位で造りました。Windowsベースのソフトウェアと互換性があり、1つのシンプルなユーザーインターフェイスでマシンを完全に制御できます。ADVANCED ENERGY RF-30Sには、パラメーターの完全な制御を可能にし、必要に応じてグラフィカルなトレンドの表示を可能にする大型カラーLCDディスプレイもあります。全体として、RF 30Sは産業用途の電源に最適です。その信頼性の高いパフォーマンス、高度な機能オプション、安全機能の範囲は、多くの製造プロセスに最適です。