中古 ZEISS B12 #9245011 を販売中

ZEISS B12フォトレジスト装置は、フォトマスクを統合するための最先端のソリューションであり、リソグラフィ用の高解像度パターンの迅速かつ費用対効果の高い生産のために設計されています。システムの中核はZEISS B-12ヨーロピアンスタイルのInvesresitコーターで、最大350mmのサイズのウェーハを処理できます。このコーターは、圧力、温度、およびコート速度のクローズドループ制御を利用して、正確で再現性のあるパターニング結果を保証します。パターントランスファープロセス中に低応力環境を達成するために、ユニットの統合真空ツールが使用され、接着性とパターン忠実度が向上します。B12フォトレジストマシンには、スループットを向上させ、複数のウェハを同時に処理できる高度なオートメーションツールも含まれています。アセットには、ウェーハをコーター上に正確に配置するデュアルレーザーアライメントモデルが装備されています。ロボット支援ローディングと自動カセット回収装置により、生産効率がさらに向上します。その後、ウェーハはスピンコーティングされ、統合された自動基板交換を使用して正しいフォトレジストと整列されます。このシステムは、プリセットから完了までのプロセスを簡素化するユーザーフレンドリーなインターフェイスを備えています。レシピ駆動のグラフィックディスプレイは、プロセスに関するリアルタイム情報を提供し、ユーザーがパフォーマンスを向上させるためのパラメータを迅速に調整することができます。また、統合された品質保証プロトコルを備えており、データ収集とプロセス管理をサポートし、毎回再現可能な高品質の成果を保証します。B-12フォトレジストマシンは、リソグラフィック生産の要求を満たすように設計されており、最高性能を必要とする半導体、太陽電池、光電子などの分野での使用に最適です。このツールは、フォトマスクの精密加工に必要な速度、一貫性、信頼性、およびコスト効率の利点を提供します。