中古 ZEISS A20 #9259775 を販売中

ZEISS A20フォトレジスト装置は、ナノスケールのフォトリソグラフィ用途に使用される高性能モジュラーリソグラフィ装置です。高密度電子（HDI）回路やメモリチップの製造や先端材料研究に最適です。A20は解像度、フィーチャーキャプチャ、精度で12nmまでの画像処理が可能で、最高品質のフォトリソグラフィーシステムの1つです。ZEISS A20ユニットには、高度なイメージングオプティクスと高解像度画像用のマイクロパターンジェネレータが装備されています。このマシンには、直径15インチまでのウェーハおよびその他の基板上の連続イメージングが可能な直接露出微調整（DFFA）ツールと真空露出領域が含まれています。自動化された制御アセットは、ウェハローディングとアンロードを自動化することで、高い再現性とサイクルタイムの向上を実現します。さらに、直感的なユーザーインターフェイスは、モデルをすべてのユーザーに使いやすくします。この装置は生産の精密そして正確さを高めるように設計されている多くの特徴が装備されています、 基板上のウェーハの微細なアライメントのためのメタステージを含む、 パターン歪みを最小限に抑える自動機能認識システム、 そして低雑音レベルの特徴の位置、オリエンテーション、サイズおよび形の情報を表示するオンボードの測定の単位が付いている高性能の比較の顕微鏡。このマシンはメタステージスキャンも可能で、複数の場所をすばやく検査して最適なイメージング結果を得ることができます。A20ツールは、さまざまなレジスト製剤を使用する柔軟性と幅広いプロセス化学を備えています。また、スピンコーティング、ソフトベーキング、プリイメージング、ポストイメージングなどの複数のプロセスステップを実行することができ、すべて最先端のソフトウェアシステムで自動化できます。さらに、この資産には、アルゴンフッ化物、クリプトンフッ化物、YAGレーザー源など、幅広い露光源があります。全体的に、ZEISS A20フォトレジストモデルは、ユーザーに最高の解像度の画像と精度を提供する高度なフォトリソグラフィ機器であり、非常に精密なマイクロパターニングを提供します。ダイレクトイメージングやフィーチャーキャプチャ、自動レジストコーティング、自動比較顕微鏡、オンボード計測など、幅広い機能を備えています。また、6インチ以上のウエハとより大きな基板をイメージングすることができ、様々なレジスト製剤やプロセス化学製品向けに設計されているため、さまざまな高度なリソグラフィ実験用の強力で汎用性の高いツールとなっています。